[发明专利]静电卡盘装置及干法刻蚀机台

权利要求书

1.一种静电卡盘装置，其特征在于，包括静电卡盘及边缘环组件，所述边缘环组件包括第一边缘环和第二边缘环，

所述第一边缘环围绕所述静电卡盘的轴线设置于所述静电卡盘的外周，所述第一边缘环具有围绕所述自身轴线周向分布的第一斜坡；

所述第二边缘环用于沿轴向与所述第一边缘环可拆卸地连接，所述第二边缘环具有围绕自身轴线周向分布的第二斜坡；

所述第一斜坡和所述第二斜坡用于相互抵靠，以限定所述第二边缘环相对于所述第一边缘环的径向位置。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一斜坡沿朝向所述第二边缘环的方向向内倾斜，所述第二斜坡沿朝向所述第一边缘环的方向向外倾斜；所述第一斜坡与所述第一边缘环的轴线成第一夹角，所述第二斜坡与所述第二边缘环的轴线成第二夹角，所述第一夹角与所述第二夹角相等。

3.根据权利要求1所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一斜坡沿朝向所述第二边缘环的方向向外倾斜，所述第二斜坡沿朝向所述第一边缘环的方向向内倾斜；所述第一斜坡与所述第一边缘环的轴线成第一夹角，所述第二斜坡与所述第二边缘环的轴线成第二夹角，所述第一夹角与所述第二夹角相等。

4.根据权利要求2或3所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一夹角与所述第二夹角的范围在30°～60°之间。

5.根据权利要求2或3所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一边缘环和所述第二边缘环用于相互装配后，所述第一边缘环和所述第二边缘环共轴线。

6.根据权利要求1所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一斜坡呈环状，和/或，所述第二斜坡呈环状。

7.根据权利要求1所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一斜坡包括多个第一子坡段，多个所述第一子坡段围绕所述第一边缘环的轴线均匀分布；和/或，所述第二斜坡包括多个第二子坡段，多个所述第二子坡段围绕所述第二边缘环的轴线均匀分布。

8.根据权利要求8所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述静电卡盘包括基台及设置于所述基台上的凸台，所述凸台用于承载一基板，所述基台与所述第一边缘环连接；所述第二边缘环具有沿轴向贯通的内孔，所述内孔的径向内尺寸大于所述凸台的径向外尺寸，所述内孔用于供所述凸台穿设；所述凸台与所述第二边缘环之间的径向间距为第一间隙。

9.根据权利要求1所述的静电卡盘装置，其特征在于，所述第一间隙的范围在0.8～1.6mm之间。

10.一种干法刻蚀机台，其特征在于，根据权利要求1～9中任一项所述静电卡盘装置。