[发明专利]一种激光器及其制造方法与应用有效

专利信息
申请号: 202010759006.2 申请日: 2020-07-31
公开(公告)号: CN111884048B 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 梁栋;张成;刘嵩 申请(专利权)人: 常州纵慧芯光半导体科技有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01S5/028;H01S5/02;H01S5/40
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 林凡燕
地址: 213000 江苏省常州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光器 及其 制造 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种激光器的制造方法,其特征在于,包括:

提供一衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面,所述第一表面上设置有多条切割道;

形成多个台型结构于所述第一表面上;其中,每一所述台型结构内设置有发光孔;所述台型结构位于所述切割道之间;

形成间隔层于所述台型结构或所述第二表面上,所述发光孔发射的激光束从所述间隔层出射;

对所述间隔层的顶部进行处理,以形成光学图案,所述光学图案为非规则的起伏状;

形成光学元件设置在所述间隔层上,所述光学元件的下表面与所述光学图案契合;

通过所述切割道进行切割,以形成多个所述激光器;

其中,所述间隔层的折射率小于所述光学元件的折射率,且所述间隔层的厚度大于所述光学元件的厚度;

其中,当所述间隔层位于所述台型结构上时,所述激光器为正面结构;当所述间隔层位于所述第二表面上时,所述激光器为背面结构;

其中,所述台型结构包括:

第一反射层,位于所述衬底上;

有源层,位于所述第一反射层上;

第二反射层,位于所述有源层上。

2.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于:当所述激光器为正面结构时,所述台型结构上设置有导电接触层,所述导电接触层位于第二反射层上。

3.根据权利要求2所述的激光器,其特征在于:当所述激光器为正面结构时,所述台型结构上设置有接触所述导电接触层的第一电极,第二电极位于所述第一反射层上或者位于所述第二表面上。

4.根据权利要求3所述的制造方法,其特征在于:所述第一电极从所述台型结构延伸至所述衬底上,所述间隔层覆盖所述台型结构,且与位于所述衬底上的所述第一电极接触。

5.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于:当所述激光器为背面结构时,所述台型结构上设置有第一电极,所述第一反射层上设置有第二电极,所述第二电极和所述第一电极位于所述衬底的同侧。

6.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于:当所述激光器为背面结构时,所述间隔层覆盖所述衬底的所述第二表面。

7.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于:所述间隔层的厚度在20-1000微米之间。

8.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于:所述间隔层的折射率在1.2-2.0之间,所述光学元件的折射率在1.3-4.0之间。

9.一种激光器,其特征在于,包括:

衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面;

台型结构,位于所述第一表面上,其中,所述台型结构内设置有发光孔;

间隔层,位于所述台型结构或所述第二表面上,所述发光孔发射的激光束从所述间隔层出射;所述间隔层的顶部上具有光学图案,所述光学图案为非规则的起伏状;

光学元件,位于所述间隔层上,所述光学元件的下表面与所述光学图案契合;

其中,所述间隔层的折射率小于所述光学元件的折射率;且所述间隔层的厚度大于所述光学元件的厚度;

其中,当所述间隔层位于所述台型结构上时,所述激光器为正面结构;当所述间隔层位于所述第二表面上时,所述激光器为背面结构;

其中,所述台型结构包括:

第一反射层,位于所述衬底上;

有源层,位于所述第一反射层上;

第二反射层,位于所述有源层上。

10.一种电子设备,其特征在于,包括:

壳体;

基板,设置在所述壳体内;

至少一激光器,设置在所述基板上,所述激光器包括:

衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面;

台型结构,位于所述第一表面上,其中,所述台型结构内设置有发光孔;

间隔层,位于所述台型结构或所述第二表面上,所述发光孔发射的激光束从所述间隔层出射;所述间隔层的顶部上具有光学图案,所述光学图案为非规则的起伏状;

光学元件,位于所述间隔层上,所述光学元件的下表面与所述光学图案契合;

其中,所述间隔层的折射率小于所述光学元件的折射率;且所述间隔层的厚度大于所述光学元件的厚度;

其中,当所述间隔层位于所述台型结构上时,所述激光器为正面结构;当所述间隔层位于所述第二表面上时,所述激光器为背面结构;

其中,所述台型结构包括:

第一反射层,位于所述衬底上;

有源层,位于所述第一反射层上;

第二反射层,位于所述有源层上。

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