[发明专利]一种激光器及其制造方法与应用有效
| 申请号: | 202010759006.2 | 申请日: | 2020-07-31 | 
| 公开(公告)号: | CN111884048B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 | 
| 发明(设计)人: | 梁栋;张成;刘嵩 | 申请(专利权)人: | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183;H01S5/028;H01S5/02;H01S5/40 | 
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 林凡燕 | 
| 地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 激光器 及其 制造 方法 应用 | ||
1.一种激光器的制造方法,其特征在于,包括:
提供一衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面,所述第一表面上设置有多条切割道;
形成多个台型结构于所述第一表面上;其中,每一所述台型结构内设置有发光孔;所述台型结构位于所述切割道之间;
形成间隔层于所述台型结构或所述第二表面上,所述发光孔发射的激光束从所述间隔层出射;
对所述间隔层的顶部进行处理,以形成光学图案,所述光学图案为非规则的起伏状;
形成光学元件设置在所述间隔层上,所述光学元件的下表面与所述光学图案契合;
通过所述切割道进行切割,以形成多个所述激光器;
其中,所述间隔层的折射率小于所述光学元件的折射率,且所述间隔层的厚度大于所述光学元件的厚度;
其中,当所述间隔层位于所述台型结构上时,所述激光器为正面结构;当所述间隔层位于所述第二表面上时,所述激光器为背面结构;
其中,所述台型结构包括:
第一反射层,位于所述衬底上;
有源层,位于所述第一反射层上;
第二反射层,位于所述有源层上。
2.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于:当所述激光器为正面结构时,所述台型结构上设置有导电接触层,所述导电接触层位于第二反射层上。
3.根据权利要求2所述的激光器,其特征在于:当所述激光器为正面结构时,所述台型结构上设置有接触所述导电接触层的第一电极,第二电极位于所述第一反射层上或者位于所述第二表面上。
4.根据权利要求3所述的制造方法,其特征在于:所述第一电极从所述台型结构延伸至所述衬底上,所述间隔层覆盖所述台型结构,且与位于所述衬底上的所述第一电极接触。
5.根据权利要求1所述的激光器,其特征在于:当所述激光器为背面结构时,所述台型结构上设置有第一电极,所述第一反射层上设置有第二电极,所述第二电极和所述第一电极位于所述衬底的同侧。
6.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于:当所述激光器为背面结构时,所述间隔层覆盖所述衬底的所述第二表面。
7.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于:所述间隔层的厚度在20-1000微米之间。
8.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于:所述间隔层的折射率在1.2-2.0之间,所述光学元件的折射率在1.3-4.0之间。
9.一种激光器,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面;
台型结构,位于所述第一表面上,其中,所述台型结构内设置有发光孔;
间隔层,位于所述台型结构或所述第二表面上,所述发光孔发射的激光束从所述间隔层出射;所述间隔层的顶部上具有光学图案,所述光学图案为非规则的起伏状;
光学元件,位于所述间隔层上,所述光学元件的下表面与所述光学图案契合;
其中,所述间隔层的折射率小于所述光学元件的折射率;且所述间隔层的厚度大于所述光学元件的厚度;
其中,当所述间隔层位于所述台型结构上时,所述激光器为正面结构;当所述间隔层位于所述第二表面上时,所述激光器为背面结构;
其中,所述台型结构包括:
第一反射层,位于所述衬底上;
有源层,位于所述第一反射层上;
第二反射层,位于所述有源层上。
10.一种电子设备,其特征在于,包括:
壳体;
基板,设置在所述壳体内;
至少一激光器,设置在所述基板上,所述激光器包括:
衬底,所述衬底包括第一表面和第二表面;
台型结构,位于所述第一表面上,其中,所述台型结构内设置有发光孔;
间隔层,位于所述台型结构或所述第二表面上,所述发光孔发射的激光束从所述间隔层出射;所述间隔层的顶部上具有光学图案,所述光学图案为非规则的起伏状;
光学元件,位于所述间隔层上,所述光学元件的下表面与所述光学图案契合;
其中,所述间隔层的折射率小于所述光学元件的折射率;且所述间隔层的厚度大于所述光学元件的厚度;
其中,当所述间隔层位于所述台型结构上时,所述激光器为正面结构;当所述间隔层位于所述第二表面上时,所述激光器为背面结构;
其中,所述台型结构包括:
第一反射层,位于所述衬底上;
有源层,位于所述第一反射层上;
第二反射层,位于所述有源层上。
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