[发明专利]一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置及其使用方法有效
| 申请号: | 202010753291.7 | 申请日: | 2020-07-30 |
| 公开(公告)号: | CN111863597B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
| 发明(设计)人: | 雷晓宏 | 申请(专利权)人: | 固安浩瀚光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;B08B3/04 |
| 代理公司: | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人: | 王振佳 |
| 地址: | 065500 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 陶瓷 表面 污垢 清洗 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置,包括内洗搭载基台(1),其特征在于:所述内洗搭载基台(1)的一端通过螺钉固定有三个步进电机(3),所述步进电机(3)的输出端转动连接有输出带动轴,所述输出带动轴的外侧转动连接有转动配接块(9),所述转动配接块(9)的周侧面固定有四个自动陶瓷装夹结构(20),所述内洗搭载基台(1)一端的内部还开设有注排水口(2),所述内洗搭载基台(1)的上表面固定有三个电控面板模块(4),所述电控面板模块(4)位于步进电机(3)的正上方;
所述内洗搭载基台(1)顶端的两侧均焊接有搭载支撑板(5),所述搭载支撑板(5)内部的下表面通过螺钉固定有两个风力扇(6),所述搭载支撑板(5)的底端与配接搭载板(7)焊接连接,所述配接搭载板(7)的底部卡接有电热加温丝(8),所述内洗搭载基台(1)的两端均固定有水泵(37),所述水泵(37)的一端与循环净化清洁用水结构(36)通过螺钉固定连接,所述循环净化清洁用水结构(36)通过水泵(37)与内洗搭载基台(1)连接;
所述自动陶瓷装夹结构(20)包括防水底壳(10)、配合控制块(11)、防水顶壳(12)、延伸支撑板(13)、行程延伸限位块(14)、输出电机(15)、内搭载板(16)、动导齿轮(17)、配合齿条推动滑杆(18)和防破损接触定位结构(19),所述防水底壳(10)的一端与配合控制块(11)固定连接,所述防水底壳(10)的顶端通过螺钉与内搭载板(16)固定连接,所述内搭载板(16)的底端通过螺钉与输出电机(15)固定连接,所述输出电机(15)的输出端转动连接有动导齿轮(17),所述动导齿轮(17)的两端均通过轮齿啮合与配合齿条推动滑杆(18)连接,所述配合齿条推动滑杆(18)与内搭载板(16)为滑动连接,所述配合齿条推动滑杆(18)的一端与防破损接触定位结构(19)焊接连接,所述内搭载板(16)的顶端与防水顶壳(12)通过螺钉连接,所述防水顶壳(12)的两侧均焊接有延伸支撑板(13),所述延伸支撑板(13)的顶端与行程延伸限位块(14)焊接连接,所述配合齿条推动滑杆(18)顶端的下表面与行程延伸限位块(14)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置,其特征在于:所述防破损接触定位结构(19)包括装配搭载架(21)、弹簧(22)、导力推板(23)、受力夹紧板(24)、辅助定位杆(25)和接触装夹滚轮(26),所述装配搭载架(21)内部的一侧与弹簧(22)焊接连接,所述弹簧(22)的一侧与导力推板(23)的一侧贴合,所述导力推板(23)与装配搭载架(21)为滑动连接,所述导力推板(23)的一端与受力夹紧板(24)焊接连接,所述受力夹紧板(24)的一端与多个辅助定位杆(25)焊接连接,所述辅助定位杆(25)与接触装夹滚轮(26)通过转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置,其特征在于:所述循环净化清洁用水结构(36)包括循环抽排管(27)、物理过滤罐(28)、第一滤芯(29)、第二滤芯(30)、第三滤芯(31)、电解净化箱(32)、电力控制模块(33)、阴电极导杆(34)和阳电极导杆(35),所述循环抽排管(27)与物理过滤罐(28)通过焊接连接,且所述循环抽排管(27)与电解净化箱(32)也通过焊接连接,所述物理过滤罐(28)的内部从一侧到另一侧依次固定有第一滤芯(29)、第二滤芯(30)和第三滤芯(31),所述电解净化箱(32)的顶端与电力控制模块(33)通过螺钉固定连接,所述电力控制模块(33)底端的一侧与阴电极导杆(34)电性连接,所述电力控制模块(33)底端的另一侧与阳电极导杆(35)电性连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置,其特征在于:所述第一滤芯(29)的材质为不锈钢,所述第一滤芯(29)的内部开设有多个直径为六毫米的筛孔,所述第三滤芯(31)的材质为纳米活性炭,所述第三滤芯(31)的材质为蜂窝活性炭,所述第一滤芯(29)、第二滤芯(30)和第三滤芯(31)与物理过滤罐(28)均通过卡接连接。
5.根据权利要求3所述的一种半导体陶瓷表面污垢清洗装置,其特征在于:所述阴电极导杆(34)的材质为钛,且外侧涂覆有钌铱氧化物涂层,所述阳电极导杆(35)的材质为不锈钢。
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