[发明专利]等离子体天线模组及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体天线模组，包括：

等离子体天线；

接地部，电连接于所述等离子体天线的一侧；

电源供应部，向所述等离子体天线的另一侧供应电源；以及

迂回部，介于所述等离子体天线和所述电源供应部之间或者所述等离子体天线和所述接地部之间，

所述迂回部包括位于第一路径上的彼此连接的多个接点，

在所述多个接点中2个以上的接点附加地彼此连接的情况下，所述迂回部形成与所述第一路径不同的第二路径，

所述迂回部根据包括在所述第二路径中的接点的数量，控制向所述等离子体天线流入的电流值。

2.一种等离子体天线模组，包括：

第一等离子体天线；

接地部，电连接于所述第一等离子体天线的一侧；

电源供应部，向所述第一等离子体天线的另一侧供应电源；以及

迂回部，介于所述第一等离子体天线和所述电源供应部之间或者所述第一等离子体天线和所述接地部之间，

所述迂回部包括位于第一路径上的彼此连接的多个接点，

在所述多个接点中2个以上的接点附加地彼此连接的情况下，所述迂回部形成具有比所述第一路径短的长度的第二路径来控制向所述第一等离子体天线流入的电流值。

3.根据权利要求2所述的等离子体天线模组，其中，

所述等离子体天线模组还包括：

第二等离子体天线，与所述第一等离子体天线隔开设置，

所述电源供应部向所述第一等离子体天线以及所述第二等离子体天线并列供应电源，

通过所述第一等离子体天线的所述第二路径，调节所述第一等离子体天线的电流值与所述第二等离子体天线的电流值间的比例。

4.一种等离子体天线模组，包括：

第一等离子体天线；

第一接地部，电连接于所述第一等离子体天线的一侧；

电源供应部，向所述第一等离子体天线的另一侧供应电源；以及

第一迂回部，介于所述第一等离子体天线和所述电源供应部之间或者所述第一等离子体天线和所述第一接地部之间，

所述第一迂回部包括：

第一接点，位于第一路径上；

第二接点，与所述第一接点隔开而位于所述第一路径上；

第一基本电路，通过所述第一接点和所述第二接点彼此连接来形成，并包括在所述第一路径中；以及

第一迂回电路，将所述第一接点和所述第二接点附加地彼此连接来形成，并包括在与所述第一路径不同的第二路径中，

所述第一迂回电路具有比第一基本电路短的长度，从而控制向所述第一等离子体天线流入的电流值。

5.根据权利要求4所述的等离子体天线模组，其中，

所述第一迂回部还包括：

第三接点，位于所述第一路径上；

第四接点，与所述第三接点隔开而位于所述第一路径上；

第二基本电路，将所述第三接点和所述第四接点彼此连接来形成，并包括在所述第一路径中；以及

第二迂回电路，将所述第三接点和所述第四接点彼此连接来形成，并包括在所述第二路径中，

所述第二迂回电路具有比所述第二基本电路短的长度。

6.根据权利要求5所述的等离子体天线模组，其中，

所述第二接点和所述第三接点形成于相同的位置。

7.根据权利要求5所述的等离子体天线模组，其中，

所述第二迂回电路从所述第一迂回电路延伸，

所述第一迂回电路以及所述第二迂回电路形成为板材形状，

在所述第一迂回电路以及所述第二迂回电路中形成能够与所述第一接点、所述第二接点、所述第三接点以及所述第四接点紧固的紧固孔。

8.根据权利要求5所述的等离子体天线模组，其中，

所述第二基本电路从所述第一基本电路延伸，

所述第一基本电路以及所述第二基本电路形成为线圈形状。