[发明专利]一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备

说明书

本发明公开一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，涉及真空镀膜技术领域。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备。

背景技术

在真空镀膜设备中，第一道工艺完成后，切换成第二道工艺前，需要进行工艺气体切换。现有镀膜设备通常采取的做法是打开腔体抽真空管路上的阀门，把腔体及阴极内腔中的残留气体抽干净，然后气柜(Gas Box)通过阴极把新工艺气体通入到腔体中，完成工艺气体切换后再开始第二道工艺。但是阴极(showerhead)上的气体扩散孔都是微孔，流阻大，通过腔体抽真空管道抽气的情况下，残余气体比较难以抽出，抽空用的时间比较长；并且新工艺气体通过阴极(showerhead)表面的微孔扩散到腔体中的时间也长，这样就延长设备的节拍时间。

发明内容

本发明的目的在于提供一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，能够快速把残留的工艺气体抽干净，极大地缩短切换工艺气体的时间。

本发明的快速切换镀膜工艺气体的方法，在一些实施例中，同时对腔体和阴极内腔抽真空，当腔体及阴极内腔气压低于0.1Torr后，同时往阴极内腔和腔体中通入新的工艺气体；在另一些实施例中，先对腔体抽真空，当阴极内腔气压高于腔体气压0.05Torr时，同时对阴极内腔抽真空，当腔体及阴极内腔气压低于0.1Torr后，同时往阴极内腔和腔体中通入新的工艺气体。

本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。

本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。

进一步，还包括腔体充气管道，该腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。所述腔体充气管道上设置有质量流量计。通过新增的腔体充气管道能够快速地往腔体内部通入新的工艺气体，大大缩短了镀膜工艺气体切换的时间。

进一步，所述阴极内腔充气管道上设置有质量流量计。

进一步，还包括真空压力计，该真空压力计用于检测阴极内腔和腔体的压力，所述阴极内腔抽真空管道上设置有角阀。当真空压力计检测阴极内腔达到一定的真空度后，角阀开启，对阴极内腔进行抽真空，可以快速把阴极内腔中的残余气体抽干净，并且为工艺气体切换是否彻底提供了衡量标准。

本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、腔体充气管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接；所述腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。所述腔体充气管道上设置有质量流量计。

本发明与现有技术相比，具有以下优点：