[发明专利]一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备有效
| 申请号： | 202010743608.9 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112095088B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李王俊;曹新民;张斌;王凤明 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 韦超峰 |
| 地址： | 215212 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 切换 镀膜 工艺 气体 方法 设备 | ||
1.一种快速切换镀膜工艺气体的方法，其特征在于：所采用设备包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔抽真空管道、腔体充气管道和阴极内腔充气管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，排气时，先对腔体抽真空，当阴极内腔气压高于腔体气压0.05Torr时，同时对阴极内腔抽真空；
还包括真空压力计，该真空压力计用于检测阴极内腔和腔体的压力，所述阴极内腔抽真空管道上设置有角阀，阴极内腔充气管道上设置有质量流量计；
充气时，通过腔体充气管道和阴极内腔充气管道同时向腔体和阴极内腔内通入工艺气体。
2.一种快速切换镀膜工艺气体的设备，其应用于权利要求1所述的快速切换镀膜工艺气体的方法，其特征在于：包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。
3.根据权利要求2所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：还包括腔体充气管道，该腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。
4.根据权利要求3所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：所述腔体充气管道上设置有质量流量计。
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