[发明专利]一种排气控制装置

说明书

本申请公开了一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其包括：排气管；气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。本申请的电动流量调节阀根据气体压强，自动控制阀门开度，实现智能化控制由刻蚀机台或显影设备的排气管道排出的气体流量。

技术领域

本申请涉及芯片技术领域，尤其涉及一种排气控制装置。

背景技术

芯片，又称集成电路，是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分。

芯片的制造包含刻蚀过程，即在晶圆上涂光刻胶层，通过刻蚀设备或显影设备将电路结构烙印在光刻胶层上，被曝光的光刻胶层成为水溶性物质，最后用气体吹掉水溶性物质。携带水溶性物质的气体经刻蚀设备或显影设备的排气管道导入与该排气管道连接的厂务设备管道，最后从厂务设备管道排出。目前在厂务设备管道上安装蝴蝶阀或气动阀，用于控制气体流通。蝴蝶阀可以控制气体的流量，但需要人工控制蝴蝶阀的排气量；气动阀可以自动控制，但仅能控制气体通断，无法控制排气量。

发明内容

因此，本发明提供一种排气控制装置，至少部分地解决上面提到的问题。

本发明提供了一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其包括：

排气管；

气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；

电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；

控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。

作为可实现的优选方式，所述电动流量调节阀上设有开度检测装置，所述开度检测装置与所述控制系统电连接，用于检测所述电动流量调节阀的开度大小。

作为可实现的优选方式，还包括报警装置，所述报警装置与所述控制系统电连接，

所述电动流量调节阀的开度超过预设值时，所述控制系统控制所述报警装置报警。

作为可实现的优选方式，所述排气管底部开设有排液孔。

作为可实现的优选方式，还包括连接管及储液罐，所述连接管连接所述排液孔与所述储液罐。

作为可实现的优选方式，所述排气管包括沿排气方向设置的第一段、第二段及第三段，

所述第一段与所述第二段呈钝角，所述第二段与所述第三段呈钝角。

作为可实现的优选方式，所述第一段与所述第二段夹角为135°，所述第二段与所述第三段夹角为135°，所述第一段与所述第三段的夹角为90°。

作为可实现的优选方式，所述气压传感器设置于所述第一段内。

作为可实现的优选方式，所述电动流量调节阀设置于所述第二段上。

作为可实现的优选方式，所述电动流量调节阀为蝴蝶阀。