[发明专利]一种排气控制装置

权利要求书

1.一种排气控制装置，应用于刻蚀设备或显影设备，其特征在于，包括：

排气管；

气压检测装置，所述气压检测装置包括气压传感器，所述气压传感器安装于所述排气管上，用于检测所述排气管内气体压强；

电动流量调节阀，所述电动流量调节阀安装于所述排气管上；

控制系统，所述控制系统与所述电动流量调节阀和所述气压传感器电连接，用于根据所述气体压强调节所述电动流量调节阀的开度。

2.根据权利要求1所述的排气控制装置，其特征在于，所述电动流量调节阀上设有开度检测装置，

所述开度检测装置与所述控制系统电连接，用于检测所述电动流量调节阀的开度大小。

3.根据权利要求2所述的排气控制装置，其特征在于，还包括报警装置，所述报警装置与所述控制系统电连接，

所述电动流量调节阀的开度超过预设值时，所述控制系统控制所述报警装置报警。

4.根据权利要求1所述的排气控制装置，其特征在于，所述排气管底部开设有排液孔。

5.根据权利要求4所述的排气控制装置，其特征在于，还包括连接管及储液罐，

所述连接管连接所述排液孔与所述储液罐。

6.根据权利要求1所述的排气控制装置，其特征在于，所述排气管包括沿排气方向设置的第一段、第二段及第三段，

所述第一段与所述第二段呈钝角，所述第二段与所述第三段呈钝角。

7.根据权利要求6所述的排气控制装置，其特征在于，所述第一段与所述第二段夹角为135°，所述第二段与所述第三段夹角为135°，所述第一段与所述第三段的夹角为90°。

8.根据权利要求7所述的排气控制装置，其特征在于，所述气压传感器设置于所述第一段内。

9.根据权利要求7所述的排气控制装置，其特征在于，所述电动流量调节阀设置于所述第二段上。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的排气控制装置，其特征在于，所述电动流量调节阀为蝴蝶阀。