[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体

说明书

提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。

技术领域

本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。

背景技术

在专利文献1中记载了一种振动器件，该振动器件作为角速度传感器来使用，具有被多个内部引线支承在TAB基板的上方的振动元件。振动元件具有：驱动臂，其具有驱动信号电极和驱动恒定电位电极，通过对驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及检测臂，其具有检测信号电极和检测恒定电位电极，通过受到惯性而进行检测振动，从而从检测信号电极输出检测信号。另一方面，多个内部引线包括：驱动信号电极用内部引线，其与驱动信号电极电连接；驱动恒定电位电极用内部引线，其与驱动恒定电位电极电连接；检测信号电极用内部引线，其与检测信号电极电连接；以及检测恒定电位电极用内部引线，其与检测恒定电位电极电连接。

专利文献1：日本特开2017-26336号公报

但是，在上述振动器件中，检测信号电极用内部引线与驱动信号电极接近而设置，并且在它们之间没有屏蔽部件等屏蔽电场的部件。因此，在检测信号电极用内部引线与驱动信号电极之间容易产生电容耦合，施加于驱动信号电极的驱动信号作为噪声而经由检测信号电极用内部引线混入到检测信号，存在角速度的检测精度下降的问题。

发明内容

本应用例的振动器件的特征在于，具有：振动元件；以及支承基板，其与所述振动元件对置地配置，对所述振动元件进行支承，具有所述振动元件侧的第1面和与所述第1面相反的一侧的第2面，所述振动元件具有：驱动臂，其具有驱动信号电极和驱动恒定电位电极，通过对所述驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及检测臂，其具有检测信号电极和检测恒定电位电极，通过接收检测对象的物理量而进行检测振动，从而从所述检测信号电极输出检测信号，所述支承基板具有：基部，其对所述振动元件进行支承；支承部，其对所述基部进行支承；多个梁部，它们连接所述基部和所述支承部；驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；驱动恒定电位布线，其与所述驱动恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；检测信号布线，其与所述检测信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；以及检测恒定电位布线，其与所述检测恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部，在多个所述梁部所包含的规定的梁部处，在所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线和所述检测恒定电位布线中的至少一方，在所述第2面配置有所述检测信号布线。

在本应用例的振动器件中，优选所述规定的梁部具有连接所述第1面和所述第2面的一对梁部侧面，在所述规定的梁部处，所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线配置在所述第1面、各所述梁部侧面以及所述第2面。

在本应用例的振动器件中，优选所述规定的梁部具有与所述驱动臂对置的部分。

在本应用例的振动器件中，优选所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动信号电极，在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动恒定电位电极。

在本应用例的振动器件中，优选所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动恒定电位电极，在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动信号电极。

在本应用例的振动器件中，优选在所述支承部的所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线。