[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具有：

振动元件；以及

支承基板，其与所述振动元件对置地配置，对所述振动元件进行支承，具有所述振动元件侧的第1面和与所述第1面相反的一侧的第2面，

所述振动元件具有：

驱动臂，其具有驱动信号电极和驱动恒定电位电极，通过对所述驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及

检测臂，其具有检测信号电极和检测恒定电位电极，通过接收作为检测对象的物理量而进行检测振动，从而从所述检测信号电极输出检测信号，

所述支承基板具有：

基部，其对所述振动元件进行支承；

支承部，其对所述基部进行支承；

多个梁部，它们连接所述基部和所述支承部；

驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；

驱动恒定电位布线，其与所述驱动恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；

检测信号布线，其与所述检测信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；以及

检测恒定电位布线，其与所述检测恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部，

在多个所述梁部所包含的规定的梁部处，在所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线和所述检测恒定电位布线中的至少一方，在所述第2面配置有所述检测信号布线。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述规定的梁部具有连接所述第1面和所述第2面的一对梁部侧面，

在所述规定的梁部处，

所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线配置在所述第1面、各所述梁部侧面以及所述第2面。

3.根据权利要求1或2所述的振动器件，其中，

所述规定的梁部具有与所述驱动臂对置的部分。

4.根据权利要求3所述的振动器件，其中，

所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，

在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动信号电极，

在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动恒定电位电极。

5.根据权利要求3所述的振动器件，其中，

所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，

在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动恒定电位电极，

在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动信号电极。

6.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

在所述支承部的所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线。

7.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述支承部呈包围所述基部的框状。

8.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

在设互相垂直的3个轴为A轴、B轴以及C轴，并且所述振动元件和所述支承基板在沿着所述C轴的方向上对置时，

所述振动元件具有：

元件基部；

一对所述检测臂，它们从所述元件基部沿着所述B轴朝向两侧延伸；

一对连结臂，它们从所述元件基部沿着所述A轴朝向两侧延伸；

一对所述驱动臂，它们从一方的所述连结臂的末端部沿着所述B轴朝向两侧延伸；以及

一对所述驱动臂，它们从另一方的所述连结臂的末端部沿着所述B轴朝向两侧延伸，

所述元件基部借助接合部件而固定于所述基部。

9.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

该振动器件具有与所述振动元件电连接的电路元件，

所述支承基板位于所述振动元件与所述电路元件之间。