[发明专利]化学机械研磨方法在审
| 申请号： | 202010719943.5 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111805413A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 金昶圭;张月;杨涛;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/24;B24B27/00 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械研磨方法，其特征在于，包括：
将待研磨晶圆用羊毛毡研磨垫进行第一次研磨，以消除所述待研磨晶圆的高段差；
将第一次研磨完毕的晶圆采用聚氨酯研磨垫进行第二次研磨，以完成所述晶圆的平坦化。
2.如权利要求1所述化学机械研磨方法，其特征在于：所述第一次研磨的研磨量为以上。
3.如权利要求1所述化学机械研磨方法，其特征在于：所述羊毛毡研磨垫包括研磨垫主体和附着在研磨垫主体表面或内部的磨料。
4.如权利要求3所述化学机械研磨方法，其特征在于：所述磨料包括氧化锆(ZrO3)、二氧化硅(SiO2)、氧化铝(Al2O3)、二氧化铈(CeO2)或氮化硅(SiN)中的一种或两种以上的混合物。
5.如权利要求3所述化学机械研磨方法，其特征在于：所述磨料的体积占所述羊毛毡研磨垫体积的0.5％～30％。
6.如权利要求3所述化学机械研磨方法，其特征在于：所述磨料的粒度为1微米以下。
7.如权利要求3所述化学机械研磨方法，其特征在于：进一步包括在所述第一次研磨过程中向所述羊毛毡研磨垫上加入研磨液的步骤，所述研磨液为不具有磨料的研磨液。
8.如权利要求1所述化学机械研磨方法，其特征在于：所述羊毛毡研磨垫的邵氏硬度为30～70HD。
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