[发明专利]基板运输装置及其工作方法、基板处理系统及处理方法

权利要求书

1.一种基板运输装置，其特征在于，包括支撑组件和承载台，所述承载台具有承载面，所述承载面被配置为承载基板，所述承载台被配置为带动所述基板沿第一方向相对于所述支撑组件运动；所述承载台设有通孔，所述支撑组件包括支撑柱，所述支撑柱被配置为穿过所述通孔并带动所述基板沿垂直于所述承载面的方向移动，以带动所述基板与所述承载面贴合或者使所述基板远离所述承载面。

2.根据权利要求1所述基板运输装置，其特征在于，所述基板运输装置还包括移动组件，所述移动组件被配置为驱动所述支撑组件沿第二方向移动，所述第二方向与所述第一方向垂直或具有锐角夹角。

3.根据权利要求2所述的基板运输装置，其特征在于，所述支撑组件还包括支撑件，所述支撑件设于所述移动组件上，所述支撑柱的一端设于所述支撑件上，所述支撑柱沿垂直于所述承载面的方向延伸。

4.根据权利要求3所述的基板运输装置，其特征在于，所述基板运输装置还包括驱动组件，所述驱动组件被配置为带动所述支撑组件沿垂直于所述承载面的方向上移动，以使所述支撑柱同步沿垂直于所述承载面的方向上移动并穿过所述通孔，从而使所述支撑柱带动所述基板与所述承载面贴合或远离所述承载面。

5.根据权利要求4所述的基板运输装置，其特征在于，所述驱动组件被配置为驱动所述移动组件和所述支撑组件沿垂直于所述承载面的方向移动。

6.根据权利要求3所述的基板运输装置，其特征在于，所述移动组件与所述承载台之间具有间隙，所述移动组件用于使所述支撑组件与所述承载台之间具有间隙。

7.根据权利要求1所述的基板运输装置，其特征在于，所述基板运输装置还包括动力组件，所述动力组件用于使所述承载台沿所述第三方向移动，所述第三方向与所述第一方向垂直或具有锐角夹角。

8.根据权利要求4所述基板运输装置，其特征在于，所述驱动组件包括升降板，所述升降板的数量为两个，两个所述升降板分别设置在所述承载台沿所述第一方向的两侧。

9.根据权利要求2所述基板运输装置，其特征在于，所述支撑组件和所述移动组件的数量为多个，多个所述支撑组件分别设置在所述承载台沿所述第一方向的两侧，且多个所述支撑组件沿所述第一方向并排设置；多个所述移动组件分别设置在所述承载台沿所述第一方向的两侧，且多个所述移动组件沿所述第一方向并排设置。

10.根据权利要求3所述的基板运输装置，其特征在于，所述支撑组件包括多个所述支撑件和多个所述支撑柱，一个所述支撑件与一个或多个所述支撑柱连接，所述承载台对应设有多个所述通孔，多个所述支撑柱沿垂直于所述承载面的方向上移动并穿过多个所述通孔，以带动所述基板与所述承载台贴合或远离所述承载台。

11.根据权利要求3所述的基板运输装置，其特征在于，所述移动组件包括多个层叠设置的子气缸，每个所述子气缸与一个所述支撑件连接并驱动所述支撑件及所述支撑件上的所述支撑柱沿所述第二方向移动，使所述支撑柱与所述通孔相对设置；或者驱动所述支撑件及所述支撑件上的所述支撑柱沿背离所述第二方向移动。

12.根据权利要求3所述的基板运输装置，其特征在于，所述移动组件包括多级气缸，所述多级气缸的每一级均与一个所述支撑件连接并驱动所述支撑件及所述支撑件上的所述支撑柱沿所述第二方向移动，或者驱动所述支撑件及所述支撑件上的所述支撑柱沿背离所述第二方向移动。

13.根据权利要求4所述的基板运输装置，其特征在于，所述驱动组件还包括升降机和电机，所述电机用于为所述升降机提供驱动力，所述升降机驱动所述升降板沿垂直于所述承载面的方向运动。