[发明专利]磁性粉末、磁性粉末的制造方法、压粉磁芯及线圈部件

说明书

提供磁性粉末及其制造方法以及包含所述磁性粉末的压粉磁芯及线圈部件，该磁性粉末在制造压粉磁芯时能够制造磁导率高且容易进行阻抗的调整的压粉磁芯。磁性粉末的特征在于，具有：芯部，所述芯部包含软磁性材料；基底层，设置于所述芯部的表面，并包含所述软磁性材料的氧化物，所述基底层的平均厚度为0.1nm以上且小于10nm；以及绝缘层，设置于所述基底层的表面，并以有机硅氧烷化合物作为主材料，所述有机硅氧烷化合物的C/Si原子比为0.01以上且2.00以下。

技术领域

本发明涉及磁性粉末、磁性粉末的制造方法、压粉磁芯及线圈部件。

背景技术

在用于电感器等的磁性粉末中，需要对粒子表面实施绝缘处理来抑制在粒子间流动的涡电流。因此，研究了在磁性粉末的粒子表面形成绝缘被膜的各种方法。

例如，在专利文献1中，公开了一种由粒子成形体构成的磁性材料，粒子成形体具备由软磁性合金构成的多个金属粒子和形成于金属粒子的表面的氧化被膜，并且具有由氧化被膜彼此形成的结合部或由金属粒子彼此形成的结合部。在这种磁性材料中，通过氧化被膜确保粒子成形体的绝缘性。

另一方面，在将电感器用于高频电路的情况下，有时需要调整粒子成形体的阻抗。在这种情况下，能够通过调整构成粒子成形体的阻抗的要素中的容抗而进行阻抗的调整。

作为调整容抗的方法之一可以考虑使氧化被膜的厚度变化。但是，如果使氧化被膜的厚度变薄，则粒子间涡电流损耗变大，另一方面，如果使氧化被膜的厚度变厚，则粒子成形体的磁导率下降。因此，使氧化被膜的厚度变化的方法存在很多课题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-238828号公报。

作为为了调整粒子成形体的阻抗而调整容抗的另一种方法，可以考虑使如氧化被膜那样的绝缘层的介电常数变化。为了使绝缘层的介电常数变化，有时需要使绝缘层的组成变化。需要一种粒子成形体，该粒子成形体通过使绝缘层的组成变化，能够抑制磁导率的下降且比较容易地调整容抗。

发明内容

本发明的适用例的磁性粉末的特征在于，具有：

芯部，所述芯部包含软磁性材料；

基底层，设置于所述芯部的表面，并包含所述软磁性材料的氧化物，所述基底层的平均厚度为0.1nm以上且小于10nm；以及

绝缘层，设置于所述基底层的表面，并以有机硅氧烷化合物作为主材料，

所述有机硅氧烷化合物的C/Si原子比为0.01以上且2.00以下。

附图说明

图1是示意性示出第一实施方式的磁性粉末的一个粒子的剖视图。

图2是示出第二实施方式的磁性粉末的制造方法的工序图。

图3是示出第三实施方式的磁性粉末的制造方法的工序图。

图4是示出第四实施方式的作为线圈部件的环形线圈的俯视图。

图5是示出第五实施方式的作为线圈部件的电感器的透视立体图。

符号说明

1…磁性粒子，2…芯部，3…基底层，4…绝缘层，5…带基底层的粒子，10…环形线圈，11…压粉磁芯，12…导线，20…电感器，21…压粉磁芯，22…导线，S1…准备工序，S2…绝缘层形成工序，S21…原料气体的导入，S22…原料气体的清除，S23…氧化剂的导入，S24…氧化剂的清除，S25…分散液的制备，S26…前驱体被膜的形成，S27…干燥，S28…烧成。

具体实施方式