[发明专利]磁性粉末、磁性粉末的制造方法、压粉磁芯及线圈部件在审
申请号: | 202010713317.5 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN112289535A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 只井桃;宫川拓也 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01F1/33 | 分类号: | H01F1/33;H01F3/08;H01F27/255;H01F41/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 纪秀凤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁性 粉末 制造 方法 压粉磁芯 线圈 部件 | ||
1.一种磁性粉末,其特征在于,具有:
芯部,所述芯部包含软磁性材料;
基底层,设置于所述芯部的表面,并包含所述软磁性材料的氧化物,所述基底层的平均厚度为0.1nm以上且小于10nm;以及
绝缘层,设置于所述基底层的表面,并以有机硅氧烷化合物作为主材料,
所述有机硅氧烷化合物的C/Si原子比为0.01以上且2.00以下。
2.根据权利要求1所述的磁性粉末,其特征在于,
所述绝缘层的相对介电常数相对于所述绝缘层的平均厚度的比为0.033/nm以上且3.2/nm以下。
3.根据权利要求1或2所述的磁性粉末,其特征在于,
所述绝缘层的平均厚度为60nm以下。
4.根据权利要求1所述的磁性粉末,其特征在于,
所述绝缘层的相对介电常数为1.0以上且3.2以下。
5.根据权利要求1所述的磁性粉末,其特征在于,
所述有机硅氧烷化合物包含倍半硅氧烷化合物。
6.根据权利要求1所述的磁性粉末,其特征在于,
所述绝缘层包含氟原子。
7.根据权利要求6所述的磁性粉末,其特征在于,
所述有机硅氧烷化合物包含含氟基团。
8.根据权利要求1所述的磁性粉末,其特征在于,
所述软磁性材料包含非晶质。
9.一种磁性粉末的制造方法,其特征在于,具有:
准备带基底层的粒子的工序,所述带基底层的粒子具有:芯部,所述芯部包含软磁性材料;以及基底层,设置于所述芯部的表面,并包含所述软磁性材料的氧化物,所述基底层的平均厚度为0.1nm以上且小于10nm;以及
形成绝缘层的工序,将所述带基底层的粒子供于成膜处理,形成以C/Si原子比为0.01以上且2.00以下的有机硅氧烷化合物作为主材料的绝缘膜,所述成膜处理以第一有机硅氧烷化合物和基本构成单位与所述第一有机硅氧烷化合物不同的第二有机硅氧烷化合物作为原料。
10.根据权利要求9所述的磁性粉末的制造方法,其特征在于,
所述原料包含四烷氧基硅烷、三烷氧基硅烷及二烷氧基硅烷。
11.根据权利要求9或10所述的磁性粉末的制造方法,其特征在于,
所述成膜处理是原子层沉积法或湿式法。
12.一种压粉磁芯,其特征在于,
包含权利要求1至8中任一项所述的磁性粉末。
13.一种线圈部件,其特征在于,
具备权利要求12所述的压粉磁芯。
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