[发明专利]编码器、伺服电机、伺服系统

说明书

本发明提供一种编码器、伺服电机、伺服系统，能够在编码器内部进行偏心量的测量。编码器(100)具有圆板状的盘(110)和与盘(110)相对配置的光学模块(120)，盘(110)具有以在周向(C)上具有第一重复图案且在径向(R)上具有第二重复图案的方式排列有多个反射狭缝(si1)的狭缝轨道(SI1)，光学模块(120)具有与狭缝轨道(SI1)的周向(C)的移动对应地输出低增量信号的受光阵列(PIL1、PIL2)、与狭缝轨道(SI1)的径向(R)的移动对应地输出偏心量信号的受光阵列(PE)。

技术领域

本发明涉及编码器、伺服电机、伺服系统。

背景技术

在专利文献1中记载了如下伺服马达制造装置：通过与形成在旋转盘中的同心圆图案对置配置的线性编码器，测量轴的旋转轴心与旋转盘的盘中心的偏心量。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-168066号公报。

发明内容

在上述的以往的技术中，用外部的传感器测量形成于编码器的旋转盘上的同心圆图案来计算偏心量。因此，期望一种能够在内部测量偏心量的编码器。

本发明是鉴于这样的问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够在内部测量偏心量的编码器、伺服马达、伺服系统。

为了解决上述问题，根据本发明的一个观点，应用一种编码器，包括：圆板状的盘；以及感器部，与所述盘对置配置，所述盘具有狭缝列，所述狭缝列由多个狭缝以在周向上具有第一重复图案且在径向上具有第二重复图案的方式排列而成，所述传感器部具有：第一受光部，与所述狭缝列的所述周向的移动对应地输出第一受光信号；第二受光部，与所述狭缝列的所述径向的移动对应地输出第二受光信号。

根据本发明的另一个观点，应用一种伺服马达，包括：马达，其中转子相对于定子旋转；以及上述编码器，所述编码器检测所述转子的位置、速度、加速度中的至少一个。

根据本发明的另一个观点，应用一种伺服系统，包括：马达，其中转子相对于定子旋转；上述编码器，所述编码器检测所述转子的位置、速度、加速度中的至少一个；以及控制装置，基于所述编码器的检测结果来控制所述马达。

根据本发明的编码器等，能够在内部测量偏心量。

附图说明

图1是示出一个实施方式所涉及的伺服系统的简要构成的一个示例的说明图；

图2是示出一个实施方式所涉及的编码器的简要构成的一个示例的说明图；

图3是示出盘的结构的一个示例的俯视图；

图4是示出狭缝轨道的结构的一个示例的、盘的上表面的一部分的放大图；

图5是示出光学模块的光源及受光阵列的布局结构的一个示例的仰视图；

图6是示出信号处理部的功能结构的一个示例的框图；

图7是示出低增量信号、A相绝对信号以及B相绝对信号的波形的一个示例的说明图；

图8是示出偏心量测量部的功能结构的一个示例的框图；

图9是示出参数生成部的功能结构的一个示例的框图；

图10是示出由信号处理部执行的、与偏心量的记录有关的处理步骤的一个示例的流程图；

图11是示出由信号处理部执行的、与偏心量的异常判定有关的处理步骤的一个示例的流程图；

图12是示出偏心量测量处理的详细内容的流程图；

图13是示出由信号处理部执行的、与校正参数的记录有关的处理过程的一个示例的流程图；