[发明专利]一种多晶硅片制绒质量检测方法

说明书

本发明公开了一种多晶硅片制绒质量检测方法，属于硅片加工技术领域，本方案通过将整个还原式贴盘按压在多晶硅片的表面，促使还原性铁粉将弹性封闭膜刺穿，并使其端部进入半球形凸层内，一方面可以实现对多晶硅片的干燥，另一方面借助吸收的水分与还原性铁粉反应，可以提高弹性接触方框内的热量，进一步提高水与还原性铁粉的反应速率，并借助反应后生成的四氧化三铁，可以对上观察空腔内的不锈钢粉末进行吸引，从而借助不锈钢粉末在观察薄片内的分布状况，另外借助反应产生的氢气的流动，可以增加弹性接触方框内的气体流动性，可以在降低弹性接触方框内氧气含量的同时，也能进一步提高水与还原性铁粉的反应效率。

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，更具体地说，涉及一种多晶硅片制绒质量检测方法。

背景技术

在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场(mass market)的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你，这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决，甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案。

芯片又是现代化的微型“知识库”，它具有神话般的存储能力，在针尖大小的硅片上可以装入一部24卷本的《大英百科全书》，如今世界上的图书、杂志已多达3000多万种，而且每年都要增加50多万种，可谓浩如烟海，德国未来学家拜因豪尔指出：“今天的科学家，即使整日整夜地工作，也只能阅读本专业全部出版物的5％，”出路何在呢？唯一的办法就是由各个图书情报资料中心负责把各种情报存入硅片存储器，并用通信线路将其连接成网，这样，科技人员要查找某种资料和数据时，只要坐在办公室里操作计算机键盘，立即就会在计算机的荧光屏上显示出所要查询的内容。

目前，通常会使用酸蚀技术对多晶硅片进行制绒，并在制绒完毕后需要对多晶硅片进行测试，但在实际的测试时，可能需要使用光束对多晶硅片表面照射，因此可能会损伤多晶硅片。

发明内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种多晶硅片制绒质量检测方法，本方案通过将整个还原式贴盘按压在多晶硅片的表面，促使还原性铁粉对弹性封闭膜进行挤压，并借助预断裂槽本身的预断裂作用，促使还原性铁粉将弹性封闭膜刺穿，并使其端部进入半球形凸层内，同时继续对半球形凸层挤压，迫使半球形凸层与多晶硅片上的坑洼充分接触，吸收其内的水分，一方面可以实现对多晶硅片的干燥，另一方面借助吸收的水分与还原性铁粉反应，可以提高弹性接触方框内的热量，从而加速水的蒸发，以此可以进一步提高水与还原性铁粉的反应速率，并借助反应后生成的四氧化三铁，可以对上观察空腔内的不锈钢粉末进行吸引，从而借助不锈钢粉末在观察薄片内的分布状况，可以观测多晶硅片的制绒质量，另外借助反应产生的氢气的流动，可以增加弹性接触方框内的气体流动性，可以在降低弹性接触方框内氧气含量的同时，也能进一步提高水与还原性铁粉的反应效率。

2.技术方案

为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。

一种多晶硅片制绒质量检测方法，包括以下步骤：

S1、将多晶硅片放置在研磨设备内，并在其上表面均匀洒满一层高锰酸钾颗粒，再对多晶硅片进行研磨，从而在多晶硅片表面形成许多待酸蚀区；

S2、对多晶硅片使用去离子水冲洗3-4遍后，使用氢氟酸对其上表面的待酸蚀区进行腐蚀，从而使多晶硅片上表面形成坑洼，在使用去离子水冲洗3-4遍后，实现对多晶硅片的制绒；