[发明专利]一种多晶硅片制绒质量检测方法

权利要求书

1.一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、将多晶硅片放置在研磨设备内，并在其上表面均匀洒满一层高锰酸钾颗粒，再对多晶硅片进行研磨，从而在多晶硅片表面形成许多待酸蚀区；

S2、对多晶硅片使用去离子水冲洗3-4遍后，使用氢氟酸对其上表面的待酸蚀区进行腐蚀，从而使多晶硅片上表面形成坑洼，在使用去离子水冲洗3-4遍后，实现对多晶硅片的制绒；

S3、将还原式贴盘按压在多晶硅片的表面，吸收制绒后的多晶硅片的上表面的水分，并借助还原式贴盘使多晶硅片表面的粗糙度明显化，从而实现对多晶硅片制绒后的质量进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述S3中的还原式贴盘包括测试贴片(1)，所述测试贴片(1)包括观察薄片(2)，所述观察薄片(2)下端固定连接有弹性接触方框(3)，所述弹性接触方框(3)内壁固定连接有弹性封闭膜(4)，所述弹性接触方框(3)内设有多个均匀分布的还原性铁粉(5)，所述弹性封闭膜(4)上端开凿有多个均匀分布的预断裂槽(6)，所述弹性接触方框(3)内壁开凿有多个均匀分布且位于弹性封闭膜(4)上侧的释放孔(7)，所述释放孔(7)内壁固定连接有一对相互抵紧的橡胶封片(8)，所述观察薄片(2)内部开凿有上观察空腔(9)，所述上观察空腔(9)内洒有不锈钢粉末(10)。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述弹性封闭膜(4)底端固定连接有多个均匀分布的半球形凸层(11)，所述半球形凸层(11)位于预断裂槽(6)下侧，所述半球形凸层(11)内填充有预存储气体(12)。

4.根据权利要求2所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述观察薄片(2)由透明的塑料材质制成，所述观察薄片(2)的耐温温度为100℃。

5.根据权利要求2所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述弹性接触方框(3)内壁与弹性封闭膜(4)之间固定连接有方环形过滤网(301)，所述方环形过滤网(301)位于还原性铁粉(5)外侧。

6.根据权利要求2所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述还原性铁粉(5)设置成椭球形，且上下两端设置成尖状，所述还原性铁粉(5)上端嵌入弹性接触方框(3)内壁内且与弹性接触方框(3)内壁固定连接。

7.根据权利要求2所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述上观察空腔(9)上下内壁之间固定连接有方环形封膜(901)，所述方环形封膜(901)与上观察空腔(9)侧壁之间填充有液态汞(902)。

8.根据权利要求3所述的一种多晶硅片制绒质量检测方法，其特征在于：所述半球形凸层(11)由高吸水树脂材质制成，所述预存储气体(12)由氮气制成。