[发明专利]监控系统、监控方法、监控终端及存储介质

说明书

本申请提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，涉及监控技术领域，能够较好地进行晶圆测试数据的监控，适用范围广。该监控系统包括：测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台的测试晶圆时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆进行电测试；所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。

技术领域

本申请属于监控技术领域，尤其涉及一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质。

背景技术

随着集成电路技术的不断发展，集成电路的功能越来越复杂、集成度越来越高、需求量和使用量越来越大，集成电路逐渐成为现代工业的基础和支柱。在集成电路的生产过程中，集成电路测试分为两个大的工序：晶圆测试(CP) 和IC成品测试(FT)，晶圆测试在前，IC成品测试在后。其中，对于晶圆测试，主要是预先将测试终端与探针台连接，利用测试终端控制探针台完成晶圆测试。且现有的晶圆测试方式是将测试终端与探针台连接，且探针台只支持接收测试终端发送的测试结果，如测试通过或测试失败，使得测试终端与探针台之间的交互信息也只限于每一次开始测试信号、结束测试信号和每一次的测试结果等信息，且只能基于测试结果对晶圆的良品率、连续失效等常规异常情况进行监控报警，且当出现异常时停止控制探针台对晶圆进行测试。

然而，因现有的测试终端和探针台的功能限制原因，并不能具体针对测试项目中某一目标测试数据进行监控，导致晶圆测试异常，也无法暂停测试，不便于检查异常出现的原因，即现有的晶圆测试方式存在着适用范围小的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，以解决现有的晶圆测试方式适用范围小的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种监控系统，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；

所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试；

所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。

以上方案，在监控系统中配置监控终端、测试终端和探针台，将监控终端分别与测试终端和探针台连接，通过监控终端获取到测试终端发送的目标测试数据及测试指令，并确定目标测试数据是否满足预设条件，若目标测试数据不满足预设条件时，即可及时发现异常的测试数据，且监控终端停止将测试终端的测试指令发送至探针台，从而及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，扩宽监控系统的适用范围，能够较好地进行晶圆测试数据的监控。

可选的，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。

可选的，所述监控终端，用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。

可选的，所述监控终端，用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。

可选的，所述监控终端，还用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。

可选的，所述目标文件包括晶圆图、数据日志中的一种或多种。

第二方面，本申请实施例提供了一种监控方法，应用于监控终端，所述方法包括：