[发明专利]监控系统、监控方法、监控终端及存储介质

权利要求书

1.一种监控系统，其特征在于，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；

所述测试终端，用于根据所述监控终端发送的查询指令，获取目标测试数据，并输出目标测试数据及测试指令至所述监控终端，所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据，所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试，所述测试指令指的是继续指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试的指令；

所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台；

所述监控终端，用于当结束测试时，将所述测试终端生成的结束测试指令发送至所述探针台，所述结束测试指令用于指示所述探针台记录已测试结束的芯片的芯片信息；

所述监控终端，用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。

2.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。

3.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。

4.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。

5.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述目标文件包括晶圆图、数据日志中的一种或多种。

6.一种监控方法，应用于监控终端，其特征在于，所述监控终端分别与测试终端和探针台连接，所述监控方法包括：

向所述测试终端发送查询指令，所述查询指令用于指示所述测试终端获取目标测试数据，所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；

获取所述测试终端发送的所述目标测试数据及测试指令，所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试，所述测试指令指的是继续指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试的指令；

当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的测试指令发送至所述探针台，其中，当结束测试时，将所述测试终端生成的结束测试指令发送至所述探针台，所述结束测试指令用于指示所述探针台记录已测试结束的芯片的芯片信息；

所述监控方法还包括：

获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。

7.如权利要求6所述的监控方法，其特征在于，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值；

所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台，包括：

当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。

8.一种监控终端，其特征在于，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求6至7任一项所述的方法。

9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求6至7任一项所述的方法。