[发明专利]一种弯管过滤式涂层机

说明书

本发明涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种弯管过滤式涂层机，其包括控制柜、真空泵、真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；真空容器设置有真空内腔；靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构，真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件；弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件。本申请的涂层机的靶材离化机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化机构的冷却效果。同时，靶材夹头机构设置有一段弧形管组件，弧形管组件具有一定的弧度，增加本申请的涂层机的过滤效果。

技术领域

本发明涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种弯管过滤式涂层机。

背景技术

真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基材温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点，成为镀膜工业应用领域特别是建筑镀膜玻璃、透明导电膜玻璃、柔性基材卷绕镀等对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合的首选方案。

涂层机的靶材离化机构在工作中会产生大量的热量，现有的靶材离化机构的冷却效果差，靶材离化机构所产生的热量会影响整个溅射过程，从而导致镀膜失败。此外，靶材离化机构所产生的热量会影响靶材离化机构内部的零部件，使得靶材离化机构不能正常地工作，甚至会造成靶材离化机构的损坏，增加生产的成本。同时，靶材离化机构的真空管机构均为直管，对某些被离化的杂原子或离子的过滤效果差。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种弯管过滤式涂层机，该涂层机的靶材离化机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化机构的冷却效果，保护了靶材离化机构内部的零部件，保证靶材离化机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。同时，靶材夹头机构设置有一段弧形管组件，弧形管组件具有一定的弧度，能更好地将某些被离化的杂原子或离子挡落至弧形管组件的内管上，增加本申请的涂层机的过滤效果。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种弯管过滤式涂层机，其包括控制柜和真空泵，还包括真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；所述真空容器设置有真空内腔，若干个所述离子发生机构分别装设于真空内腔并用于向真空内腔产生离子；若干个所述靶材离化机构分别连接于真空容器；所述真空泵连接于真空容器并用于对真空容器进行抽真空处理；所述真空泵、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构均与控制柜电性连接；

所述靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构；所述真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件，弧形管组件的两端分别连接有至少一组直管组件；所述弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；

所述真空管机构连接于真空容器，所述内管与真空内腔连通；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有第一冷却液腔；

所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与第一冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻弧形管组件的第二连接块或相邻直管组件的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧螺钉也用于将第二连接块锁紧于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；