[发明专利]一种弯管过滤式涂层机

权利要求书

1.一种弯管过滤式涂层机，包括控制柜和真空泵，其特征在于：还包括真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；

所述真空容器设置有真空内腔，若干个所述离子发生机构分别装设于真空内腔并用于向真空内腔产生离子；若干个所述靶材离化机构分别连接于真空容器；所述真空泵连接于真空容器并用于对真空容器进行抽真空处理；所述真空泵、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构均与控制柜电性连接；

所述靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构；所述真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件，弧形管组件的两端分别连接有至少一组直管组件；所述弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；

所述真空管机构连接于真空容器，所述内管与真空内腔连通；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有第一冷却液腔；

所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与第一冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻弧形管组件的第二连接块或相邻直管组件的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧螺钉也用于将第二连接块锁紧于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；

所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。

2.根据权利要求1所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有第一安装孔，第一安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经第一安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经第一安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座。

3.根据权利要求2所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔和外界；所述第二进水口与第三容置腔连通，所述第二出水口与第四容置腔连通；所述第三容置腔的内壁设置有第一内螺纹，进水管的外壁设置有用于与第一内螺纹螺纹连接的第一外螺纹；所述第四容置腔的内壁设置有第二内螺纹，出水管的外壁设置有用于与第二内螺纹螺纹连接的第二外螺纹。

4.根据权利要求1所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述弧形管组件或/和直管组件的内管的内部间隔设置有多个挡料板。

5.根据权利要求2所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述靶材夹头机构包括夹头底座和夹头座，所述夹头底座连接于安装座，夹头座连接于夹头底座远离安装座的一端，夹头座用于夹紧待离化靶材；所述夹头底座开设有冷却机构容置腔，所述热交换座位于冷却机构容置腔内并抵触着夹头座的底部。

6.根据权利要求1所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述离子发生机构包括装配基体、正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，装配基体安装于真空内腔内，负极载件安装于装配基体的顶部，所述冷却组件安装于负极载件的底部并用于对负极载件进行冷却，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间；所述气腔基件设置有离子发生腔和多个离子发射通孔，多个离子发射通孔分别与离子发生腔连通。