[发明专利]化学机械抛光设备和方法及制造显示装置的方法

说明书

本公开涉及一种化学机械抛光设备、一种采用化学机械抛光设备的制造显示装置的方法和化学机械抛光方法，化学机械抛光设备包括：输送带，传送基底；抛光头，设置在输送带上方；以及主体部件，主体部件移动抛光头并且向抛光头供应浆料。抛光头包括：第一抛光部件，包括围绕第一浆料出口的第一抛光垫；以及第二抛光部件，围绕第一抛光部件并且包括第二抛光垫。第二浆料出口形成在第一抛光部件和第二抛光部件之间，并且第一抛光部件和第二抛光部件在基本上垂直于基底的方向上是彼此独立地可移动的。

技术领域

实施例涉及化学机械抛光设备、化学机械抛光方法以及利用化学机械抛光方法制造显示装置的方法。实施例还涉及用于制造显示装置的化学机械抛光设备和化学机械抛光方法以及利用化学机械抛光方法制造显示装置的方法。

背景技术

已经制造出小且重量轻的显示装置。阴极射线管(CRT)显示器由于性能和有竞争力的定价已经被制造出来。然而，CRT显示器由于其相对较大尺寸和/或缺乏便携性而具有缺点。因此，诸如等离子体显示器、液晶显示器和有机发光显示器的显示器由于其小的尺寸、其轻的重量或便携性以及其低的功耗而受到青睐。

柔性显示器正被开发，并且可以通过在在承载玻璃上形成薄膜层之后从承载玻璃分离薄膜层来制造显示器。然而，可能保留在承载玻璃上的薄膜层不容易去除，使得难以回收承载玻璃，并且这引起在制造中的问题且潜在地促成增加的成本。

应当理解的是，背景技术部分部分地旨在提供用于理解技术的有用背景。但是，背景技术部分还可以包括不是相关领域技术人员在此处公开的主题的相应的有效申请日之前知晓或预料到的思想、概念或认识的部分的思想、概念或认识。

发明内容

本公开的一个或多个实施例提供了一种化学机械抛光设备。

本公开的一个或多个实施例还提供了一种化学机械抛光方法。

本公开的一个或多个实施例还提供了一种使用化学机械抛光方法制造显示装置的方法。

根据实施例，化学机械抛光设备包括：输送带，传送基底；抛光头，设置在所述输送带上方；以及主体部件，连接到所述抛光头，所述主体部件移动所述抛光头并且向所述抛光头供应浆料。所述抛光头包括：第一浆料出口；第一抛光部件，包括围绕所述第一浆料出口的第一抛光垫；第二抛光部件，围绕所述第一抛光部件并且包括第二抛光垫。第二浆料出口设置在所述第一抛光部件和所述第二抛光部件之间，其中，所述第一抛光部件和所述第二抛光部件在基本上垂直于所述基底的方向上是彼此独立地可移动的。

在实施例中，所述化学机械抛光设备还可以包括：第一旋转构件，连接到所述第一抛光部件；以及第二旋转构件，围绕所述第一旋转构件并且连接至所述第二抛光部件。所述第一浆料出口可以沿所述第一抛光部件和所述第一旋转构件形成。所述第二浆料出口可以形成在所述第一抛光部件和所述第二抛光部件之间以及所述第一旋转构件和所述第二旋转构件之间。

在实施例中，所述第一抛光部件可以具有圆柱形状，并且所述第一抛光部件和所述第二抛光部件可以是一起可旋转的或分别可旋转的。

在实施例中，所述化学机械抛光设备还可以包括：第三抛光部件，围绕所述第二抛光部件并且包括第三抛光垫。

在实施例中，所述化学机械抛光设备还可以包括：第三抛光部件，与所述第一抛光部件间隔开并且包括第三抛光垫。所述第二抛光部件可以设置在所述第一抛光部件和所述第三抛光部件之间。所述第一抛光垫的面积和所述第三抛光垫的面积可以彼此不同。

在实施例中，所述化学机械抛光设备还可以包括：支撑部件，在所述输送带上邻近所述基底设置以补偿与所述基底的阶差。

在实施例中，所述基底的厚度可以近似或大约等于所述支撑部件的厚度。