[发明专利]热处理炉的腔室冷却单元

说明书

本发明公开热处理炉的腔室冷却单元。本发明的热处理炉的腔室冷却单元包括：热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。

技术领域

本发明涉及一种有效地冷却热处理炉腔室的热处理炉的腔室冷却单元。

背景技术

有机发光显示装置及LCD玻璃基板等正在图像屏幕、TV、手机、显示器等各种图像装置中使用。有机发光显示装置及LCD玻璃基板等作为下一代显示器之一正用于各种领域，近来，为了提高性能和收率，该领域平板显示器制造技术的开发正在不断地进行。

制造作为典型的平板显示器的有机发光显示装置或LCD玻璃基板(以下称'基板'或者'玻璃基板')的过程中，温度控制和温度均匀性是确保优质的基板质量和收率必不可少的。

例如，在有机发光显示装置的制造工艺中，由于在基板表面形成有机物层，从而可能会包含一定量的水分，因此需要进行用于蒸发水分的干燥工艺。

LCD玻璃基板制造工艺中，在基板表面上涂布感光膜之前进行清洗过程，而在清洗过程之后执行用于去除水分的加热干燥工艺。

此外，将感光膜涂布到LCD玻璃基板上之后执行曝光及显影工艺。该曝光及显影工艺之前和之后依序执行预烘干(pre-baking)和后烘干(post-baking)工艺。

如此，基板制造工艺的大部分执行加热及干燥工艺，以此来制造基板。在基板制造工艺中产生的水分可通过紫外线或放入包括加热器(sheath heater)等发热体的热处理炉的腔室内经加热干燥后去除。

韩国授权专利公报第10-2094763号中已提出与此有关的基板的热处理炉。

但是，现有的热处理炉虽然在腔室利用加热器系统去除基板上残留的水分，但是难以有效地控制腔室的高温、因此提高批量生成的产品品质受到限制，不能充分满足高性能的工艺能力。

此外，现有的热处理炉为了通过缩短工艺时间来提高产品的生产效率，在腔室冷却时，在迅速降低温度的同时结构上满足腔室的耐久性的方面存在局限性。

因此，当前需要一种性能得到改善的热处理炉，其满足包括平板显示器基板的热处理工艺趋势的变化在内的要求性能升级的用户要求。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1.韩国授权专利公报第10-2094763号(公告日期2020年03月31日)

发明内容

【技术问题】

本发明要解决的一技术问题是，提供一种满足基板的热处理工艺性能的热处理炉。

本发明要解决的一技术问题是，提供一种缩短热处理基板的热处理工艺时间且结构上能够加强腔室耐久性的热处理炉。

【技术方案】

根据本发明，所述目的可通过热处理炉的腔室冷却单元来实现，所述冷却单元包括：热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。

根据本发明的实施例，沿着所述腔室的内外部盒体形成的冷却气流通道可包括冷却水管道。