[发明专利]热处理炉的腔室冷却单元在审
| 申请号： | 202010655539.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113776340A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 金珉哲;中西识 | 申请（专利权）人： | 韩国光洋热电系统有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/12 | 分类号： | F27D1/12;F26B25/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道平泽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热处理 冷却 单元 | ||
1.一种热处理炉的腔室冷却单元，包括：
热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；
冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及
至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。
2.如权利要求1所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，沿着所述腔室的内外部盒体形成的冷却气流通道包括冷却水管道。
3.如权利要求1所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述冷却气流通道包括：
第一通道部，其形成在所述腔室的外部盒体和与其相隔的内部盒体之间；以及
第二通道部，其将由所述冷却外套形成的冷却气流导入所述第一通道部，并排出从所述第一通道部排出的流体。
4.如权利要求3所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述第一通道部分别以水平方向形成于所述腔室的外部盒体和与其相隔的内部盒体的上下部。
5.如权利要求3所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述第一通道部中，冷却管以内置形式布置在所述腔室的外部盒体和与其相隔的内部盒体之间。
6.如权利要求3所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述第二通道部沿着所述腔室的外部盒体和与其相隔的内部盒体的垂直壁面以垂直方向形成。
7.如权利要求1所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述冷却外套沿着所述腔室的垂直方向布置以形成所述腔室的外壁。
8.如权利要求1所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述冷却外套沿着所述腔室的垂直方向布置以多个小区单位组装并形成所述腔室的外壁。
9.如权利要求1所述的热处理炉的腔室冷却单元，其中，所述冷却外套包括主机壳体，所述主机壳体容纳供冷却水从外部导入并通过的冷却管，且内部具有形成冷却气流从而沿着所述腔室的冷却气流通道供气的空间，
所述主机壳体的上部和下部分别具有用于导入外部气体的外部气体导入口和用于排出冷却气流的排气口。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩国光洋热电系统有限公司，未经韩国光洋热电系统有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010655539.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
