[发明专利]一种渐进式烘烤加热装置

说明书

本发明公开了一种渐进式烘烤加热装置，涉及晶圆加工技术领域，包括加热机构、驱动机构、提升机构、托板、顶针，托板连接顶针，顶针伸入加热机构中，驱动机构驱动提升机构，提升机构驱动托板作渐进式升降运动；本发明渐进式加热装置在驱动机构、提升机构的驱动下，可以使晶圆在不同高度停止，既能保证在烘烤过程中的温度连续稳定升降，又能避免升降过程中晶圆受到的外界冲击，达到了从根本上避免薄晶圆在烘烤中翘曲、碎片的问题。本发明是一种结构简单，方便实用，有效提高晶圆烘烤质量的渐进式烘烤加热装置。

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是一种渐进式烘烤加热装置。

背景技术

现有的晶圆加工设备由下述专利予以披露，中国发明专利说明书CN 105470187 B（2016年04月6日公布）披露了一种防止晶圆滑动的升降盘体装置，包括固定盖、升降盘体、顶针机构及下固定板，固定盖及顶针机构分别安装在下固定板上，升降盘体位于固定盖与顶针机构之间，包括加热盘体、外密封体、动力装置及止动销，动力装置安装在固定板上、驱动外密封体升降，加热盘体放置在外密封体内、随其升降，在加热盘体的上表面沿圆周方向均布有多个止动销；顶针机构穿设于加热盘体内、在加热盘体处于下限位支撑晶圆，固定盖与上升至上限位的外密封体密封连接、形成工艺腔室。本发明通过升降盘体的升降，实现了晶圆在落到加热盘体上表面之前始终保持静止不动，规避了以往晶圆升降方式产生侧滑的弊端。

但是，上述专利因其气缸为单行程式结构，在升降过程中仅可停止一个位置，且在行程的末端位置，由于冲击现象的存在，极易造成晶圆的位置变化，导致在机械手取片时，出现碎片的可能；同时晶圆被机械手送入加热盘装置，在烘烤的过程中，由于加热装置内外存在一定的温度差，特殊的晶圆材料，在温度急剧变化时，容易出现不同程度翘曲，当温度变化过大时，晶圆本身翘曲会产生一定的应力，在外界温度再次变化或外力的作用下，可能会直接碎片，直接影响产品的性能。因此，亟需一种新型的渐进式烘烤加热装置克服上述缺陷。

发明内容

一、要解决的技术问题

本发明是针对现有技术所存在的上述缺陷，特提出一种渐进式烘烤加热装置，解决了现有烘烤加热装置在烘烤的过程中，由于加热装置内外存在一定的温度差，特殊的晶圆材料，在温度急剧变化时，容易出现不同程度翘曲，以及在外界温度再次变化或外力的作用下，可能会直接碎片的问题。

二、技术方案

一种渐进式烘烤加热装置，包括加热机构、驱动机构、提升机构、托板、顶针，托板连接顶针，顶针伸入加热机构中，驱动机构驱动提升机构，提升机构驱动托板作渐进式升降运动。

其中，提升机构包括侧板，侧板上端固定连接有固定座，固定座上转动连接有带轮，侧板上设置有直线导轨，直线导轨上滑动连接有滑动座，驱动机构固定安装在滑动座上，驱动机构上固定连接有转筒，转筒上连接有皮带，皮带绕设在带轮上，滑动座上固定连接有托板，托板位于加热机构的下方。

其中，加热机构为加热盘。

其中，驱动机构为伺服电机。

其中，伺服电机的输出轴上固定连接有转筒。

其中，加热盘上方设置有盘盖，盘盖转动连接在底板上，盘盖由气缸驱动转动。

其中，盘盖上设置有盘盖板。

其中，固定座上设置有带座，皮带从带座上的一对穿带孔中穿过。

其中，底板上设置有温控器，温控器与加热盘通过电路连接。

其中，底板上设置有控制器，控制器通过电路与伺服电机相连。

三、有益效果