[发明专利]一种渐进式烘烤加热装置在审

专利信息
申请号: 202010641505.1 申请日: 2020-07-06
公开(公告)号: CN111524842A 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 耿克涛;刘金 申请(专利权)人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 代理人: 胡小永
地址: 315400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 渐进 烘烤 加热 装置
【权利要求书】:

1.一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:包括加热机构(1)、驱动机构(7)、提升机构、托板(17)、顶针(18),所述托板(17)连接顶针(18),所述顶针(18)伸入加热机构(1)中,所述驱动机构(7)用于驱动所述提升机构,所述提升机构驱动托板(17)作渐进式升降运动,所述提升机构包括侧板(10),所述侧板(10)上端固定连接有固定座(12),所述固定座(12)上转动连接有带轮(13),侧板(10)上设置有直线导轨(11),所述直线导轨(11)上滑动连接有滑动座(15),所述驱动机构(7)固定安装在滑动座(15)上,驱动机构(7)上固定连接有转筒,所述转筒上连接有皮带(14),所述皮带(14)绕设在带轮(13)上,所述滑动座(15)上固定连接有托板(17),托板(17)位于加热机构(1)的下方。

2.根据权利要求1所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述加热机构(1)为加热盘(5)。

3.根据权利要求2所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述驱动机构(7)为伺服电机(16)。

4.根据权利要求3所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述伺服电机(16)的输出轴上固定连接有转筒。

5.根据权利要求2所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述加热盘(5)上方设置有盘盖(3),所述盘盖(3)转动连接在底板(9)上,所述盘盖(3)由气缸(4)驱动转动。

6.根据权利要求5所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述盘盖(3)上设置有盘盖板(2)。

7.根据权利要求1所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述固定座(12)上设置有带座(19),所述皮带(14)从带座(19)上的一对穿带孔中穿过。

8.根据权利要求5所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述底板(9)上设置有温控器(6),所述温控器(6)与加热盘(5)通过电路连接。

9.根据权利要求8所述的一种渐进式烘烤加热装置,其特征在于:所述底板(9)上设置还有控制器(8),所述控制器(8)通过电路与伺服电机(16)相连。

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