[发明专利]一种半导体芯片检测设备有效
| 申请号: | 202010637657.4 | 申请日: | 2020-07-05 |
| 公开(公告)号: | CN111751696B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
| 发明(设计)人: | 陶金 | 申请(专利权)人: | 深圳市堃联技术有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 尹益群 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 检测 设备 | ||
1.一种半导体芯片检测设备,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)内设有检测室(3),壳体(1)的前侧设有拉门(18),所述检测室(3)内设有检测箱(16),所述检测箱(16)的一侧设有开口(17),所述检测室(3)内设有安装块(13),所述安装块(13)靠近检测箱(16)的一侧固定连接有放置盘(15),所述检测室(3)的内顶部设有条形滑槽(5),所述条形滑槽(5)内设有用于移动安装块(13)的移动机构,所述安装块(13)内设有散热腔(14),所述散热腔(14)内设有用于散热的散热机构;
所述移动机构包括转动连接在条形滑槽(5)两侧内壁间的往复丝杆(10),所述往复丝杆(10)上螺纹连接有滑块(9),所述滑块(9)的下端固定连接有两个连接杆(11),两个所述连接杆(11)的下端均与安装块(13)的上端固定连接,所述壳体(1)的一侧安装有驱动电机(2),所述驱动电机(2)的输出轴末端延伸至条形滑槽(5)内并与往复丝杆(10)的一端固定连接;
所述散热机构包括转动连接在散热腔(14)两侧内壁间的转轴(19),所述转轴(19)上套设有凸轮(20),所述散热腔(14)内设有设有上下滑动 的活塞板(22),所述活塞板(22)的下端固定连接有圆头抵块(21),所述圆头抵块(21)的下端与凸轮(20)相抵,所述活塞板(22)的上端通过多个连接弹簧(23)与散热腔(14)的内底部弹性连接,所述安装块(13)内设有竖腔(25),所述竖腔(25)位于散热腔(14)的右侧,所述竖腔(25)通过进气风道(27)与散热腔(14)连通,所述散热腔(14)通过出气风道(24)与外界连通,所述竖腔(25)的右侧内壁开设有多个进气孔(26)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片检测设备,其特征在于,所述壳体(1)的下端固定连接接有多个支撑块,多个所述支撑块的下端均套设有防滑套,所述防滑套为橡胶材质。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片检测设备,其特征在于,所述出气风道(24)和进气风道(27)内均安装有单向阀。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片检测设备,其特征在于,所述驱动电机(2)位于条形滑槽(5)内部分固定套接有第一传动轮(4),所述检测室(3)内水平设有转动杆(8),所述转动杆(8)的一端与检测室(3)的一侧内壁转动连接,所述转动杆(8)上固定连接有第二传动轮(7),所述第一传动轮(4)和第二传动轮(7)通过传动带(6)传动,所述转轴(19)的左端贯穿散热腔(14)的左侧内壁,所述转轴(19)的左端开设有有条形槽(12),所述转动杆(8)的右端延伸至条形槽(12)内,所述转动杆(8)呈长条状。
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