[发明专利]样本提取部及包括样本提取部的残留溶剂测量装置

说明书

本发明涉及样本提取部及包括其的残留溶剂测量装置，本发明的残留溶剂测量装置包括：样本提取部，在基板上移动并以液相提取在上述基板上固化的样本；以及成分分析部，用于分析所提取的上述样本的成分，上述样本提取部包括：涂敷单元，在上述基板上涂敷用于对在基板上固化的样本进行溶解的化学液体；以及回收单元，用于在上述基板上回收溶解有上述样本的化学液体。

技术领域

本发明涉及样本提取部及包括其的残留溶剂测量装置，更详细地，涉及用于对在基板上固化的样本进行提取的样本提取部及包括样本提取部的残留溶剂测量装置。

背景技术

显示器工艺技术随着形态/面板发展，经过当前的成熟期来开始了新的模式。显示器从液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)开始，经过有机发光显示器(organicLight Emitting Display，OLED)，发展为量子点显示器(Quantum Dot Display)及柔性有机发光显示器(Flexible OLED)等，据此，现有的用于制造显示器的工艺技术正在转变为新的工艺技术。

尤其，在显示器制造工艺中所形成的有机物蒸镀呈现出从现有加热真空蒸镀方法转变为像素印刷方法的趋势。与现有的加热真空蒸镀方法相比，像素印刷方法可缩短工艺时间并提高生产效率。

但是根据像素印刷方法，在通过喷墨打印方法进行像素打印的情况下，将在经打印的像素内残留一定程度的溶剂(solvent)等的挥发性溶剂。

经打印的像素内的溶剂等的挥发性残留溶剂最终会降低有机发光显示面板的效率，并且，可对人体产生目前为止尚未报道的产品溶剂安全性问题。

因此，为了测量经打印的像素内的挥发性残留溶剂的成分，利用凝胶色谱质谱(Gel Chromatography-Mass Spectrometry，GC-MS)分析装置来测量。

凝胶色谱质谱分析装置通过以下方式进行检测，即，在通过利用等离子/热量来将样本离子化之后，经过膜来使样本分离，之后移动至具有数据库的质谱仪并检索分子量。

另一方面，由于凝胶色谱质谱分析装置基本上可测量液态的样品，因此，需要将以膜状固化的墨水重新提取为液相的过程。

以往，作业人员会在采集在基板上固化的样本之后，使其溶解在溶剂中，然后对其进行浓缩并输入到凝胶色谱质谱分析装置来测量残留溶剂的成分。

但是，由于所有过程均由作业人员执行，因此，需要大量的人力工时来测量残留溶剂，由于异物可在样本采集过程中流入，因此，容易在凝胶色谱质谱分析装置中发生错误的测量。

发明内容

本发明的目的在于，提供可在没有作业人员的干预的情况下采集固化的样本并对固化的样本进行浓缩的样本提取部及包括样本提取部的残留溶剂测量装置。

为了解决上述问题，本发明的在基板上移动并用于提取样本的样本提取部包括：涂敷单元，在上述基板上涂敷用于对在基板上固化的样本进行溶解的化学液体；以及回收单元，用于在上述基板上回收溶解有上述样本的化学液体。

并且，在本实施例中，还包括化学液体循环管道，使上述涂敷单元与上述回收单元之间相连接，上述涂敷单元通过上述化学液体循环管道来从上述回收单元获取溶解有上述样本的化学液体，在上述基板上涂敷溶解有上述样本的化学液体。

并且，在本实施例中，上述回收单元包括与上述化学液体回收管道相连接并用于回收溶解有上述样本的化学液体的化学液体回收泵，上述涂敷单元包括用于在上述基板上涂敷溶解有上述样本的化学液体的化学液体排出泵，上述化学液体回收泵向上述涂敷单元的化学液体排出泵供给溶解有上述样本的化学液体，直到完成样本提取为止。