[发明专利]样本提取部及包括样本提取部的残留溶剂测量装置

权利要求书

1.一种样本提取部，在基板上移动并用于提取固化的样本，其特征在于，包括：

涂敷单元，在上述基板上涂敷用于对在基板上固化的样本进行溶解的化学液体；以及

回收单元，用于在上述基板上回收溶解有上述样本的化学液体。

2.根据权利要求1所述的样本提取部，其特征在于，

还包括化学液体循环管道，使上述涂敷单元与上述回收单元之间相连接，

上述涂敷单元通过上述化学液体循环管道来从上述回收单元获取溶解有上述样本的化学液体，在上述基板上涂敷溶解有上述样本的化学液体。

3.根据权利要求2所述的样本提取部，其特征在于，

上述回收单元包括与上述化学液体回收管道相连接并用于回收溶解有上述样本的化学液体的化学液体回收泵，

上述涂敷单元包括用于在上述基板上涂敷溶解有上述样本的化学液体的化学液体排出泵，

上述化学液体回收泵向上述涂敷单元的化学液体排出泵供给溶解有上述样本的化学液体，直到完成样本提取为止。

4.根据权利要求3所述的样本提取部，其特征在于，

包括第一化学液体循环管道阀，用于选择性地阻隔从上述化学液体回收泵向上述化学液体排出泵供给溶解有样本的化学液体，

若上述化学液体回收泵回收溶解有上述样本的化学液体，则上述第一化学液体循环管道阀被打开，若完成上述样本的采集，则上述第一化学液体循环管道阀被关闭。

5.根据权利要求3所述的样本提取部，其特征在于，

在上述化学液体排出泵设置有用于选择性地阻隔通过上述化学液体排出管道排出的化学液体的化学液体排出管道阀，

上述化学液体排出管道阀在提取样本期间被打开，若完成样本提取则被关闭。

6.根据权利要求2所述的样本提取部，其特征在于，

上述涂敷单元与供给化学液体的化学液体供给管道相连接，

在上述涂敷单元设置有选择性地阻隔通过上述化学液体供给管道供给的化学液体的化学液体供给管道阀，

若上述涂敷单元通过上述化学液体循环管道获取溶解有上述样本的化学液体，则上述化学液体供给管道阀被关闭或略微被打开。

7.根据权利要求1所述的样本提取部，其特征在于，

在上述回收单元设置有化学液体输出管道，上述化学液体输出管道与用于对残留溶剂的成分进行分析的成分分析部相连接，

在上述回收单元设置有化学液体输出管道阀，上述化学液体输出管道阀用于选择性地阻隔向上述成分分析部供给溶解有上述样本的化学液体，

上述化学液体输出管道阀保持关闭状态，直到完成样本回收为止。

8.根据权利要求7所述的样本提取部，其特征在于，向上述成分分析部输出的溶解有样本的化学液体呈浓缩状态。

9.根据权利要求3所述的样本提取部，其特征在于，

在上述化学液体回收泵设置有用于选择性地阻隔供给溶解有上述样本的化学液体的第二化学液体循环管道阀，

若上述化学液体回收泵回收溶解有样本的化学液体，则上述第二化学液体循环管道阀被打开。

10.根据权利要求1所述的样本提取部，其特征在于，上述涂敷单元及上述回收单元以彼此相邻的方式配置。

11.一种残留溶剂测量装置，其特征在于，包括：

样本提取部，用于提取基板上的样本；以及

成分分析部，用于分析所提取的上述样本的成分，

上述样本提取部包括：

涂敷单元，在上述基板上涂敷用于对在基板上固化的样本进行溶解的化学液体；以及

回收单元，用于在上述基板上回收溶解有上述样本的化学液体。