[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种微型麦克风防尘装置，其特征在于，包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其中，

所述载体的形成有通孔，俯视观察时所述防尘网覆盖所述通孔；并且，

所述载体由硅或者二氧化硅材料制成。

2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述防尘网由硅、硅化合物或者金属材料制成。

3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述载体为中空的长方体或圆柱体结构。

4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述防尘网包括连接部和过滤部，所述过滤部通过所述连接部与所述载体相连；并且，

所述过滤部与所述通孔上下位置对应。

5.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述过滤部与所述通孔的横截面均为圆形结构；并且，

所述过滤部上的网孔为圆形、多边形或异形结构。

6.如权利要求5所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述过滤部上的网孔为蜂窝拓扑结构；并且，

所述蜂窝拓扑结构内的各正六角形的均由六个正三角形拓扑而成。

7.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述过滤部由具有疏水或者拨水性质的材料制成。

8.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述进入保护膜覆盖在所述通孔的一端或设置在所述通孔内。

9.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基板、外壳、MEMS芯片以及如权利要求1至8中任意一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，

所述基板与所述外壳之间形成封装结构，所述MEMS芯片设置在所述封装结构内的基板上；并且，

在所述基板上开设有与所述MEMS芯片上下位置对应的声孔，所述微型麦克风防尘装置设置在所述声孔外或设置在所述声孔与所述MEMS芯片之间。

10.如权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述微型麦克风防尘装置通过所述载体设置在所述声孔与所述MEMS芯片之间；并且，所述防尘网设置在所述声孔和所述MEMS芯片之间。