[发明专利]测量装置、测量系统及存储介质

说明书

本发明提供一种测量装置，包含：存储部，其存储有用于从基于干涉而出现的颜色对与白光的干涉相关的2个光路的光路差进行测量的信息；以及运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于存储部的信息来测量与各像素相关的光路差。

技术领域

本发明涉及利用白光的干涉的测量。

本申请基于2019年7月3日在日本提出的申请号2019-124383的专利申请主张优先权，该专利申请的全部内容作为参考而援引于此。

背景技术

在现有的利用白色干涉仪的微细形状测量中，一般而言，需要实施向工件高度方向(即，在将载置有测量物的平面设为XY平面时与该平面正交的Z轴方向)的精密扫描并在Z轴的各位置处拍摄测量物，从而获取累积图像(例如，日本公开专利公报2016-99213、2010-112865以及“3Dprofiling by interferometry method”、Katsuichi Kitagawa,Journalof the Society of Instrument and Control Engineers,SICE,vol.50,No.2,February2011,pp.97-104)。这是为了将测量物的各部分的Z轴位置作为出现有干涉条纹的波峰的图像的Z轴位置进行计算。

在这样的手法中，即使对算法等下工夫来以短时间进行精密扫描，也不能完全排除振动的影响，因此必须考虑构成累积图像的图像间的位置偏差等。

发明内容

本发明鉴于以上状况而提出，其课题在于，从拍摄测量物而得到的1个图像进行与该测量物相关的测量。

附图说明

图1是表示本发明的实施例的系统1100的概略构成的框图。

图2A示出显微镜100的外观。

图2B示出显微镜100所构成的光学系统1110的概要。

图3示出由相机340拍摄出的图像1300。

图4A是表示在使用理想的光学系统的情况下的、与干涉相关的2个光路的光路差d与该干涉发生时的光的强度之间的关系的曲线图。

图4B是表示在使用通常可利用的光学系统的情况下的、与干涉相关的2个光路的光路差d与该干涉发生时的光的强度之间的关系的曲线图。

图5示出与光学系统1110相关的各距离。

图6是表示系统1100的概略动作的流程图。

图7是表示计算机的硬件构成例的框图。

具体实施方式

本发明的第一形态是一种测量装置，包含：存储部，其存储有用于从基于干涉而出现的颜色对与白光的干涉相关的2个光路的光路差进行测量的信息；以及运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于存储部的信息来测量与各像素相关的光路差。

在此，存储于存储部的信息可以是利用由能导出颜色的构成要素的比率的值以及能导出与该比率对应的光路差的值组成的多个组而构成的表格。

根据该装置，从对因白光的干涉产生的干涉条纹进行拍摄而得到的1个图像，就能对遍及各像素进行干涉的2个光路的光路差进行测量。因此，不再需要考虑因振动的影响而产生的、图像间的至少XY轴方向的偏差。

此外，通常，在上述图像中拍摄有测量物。上述运算部进而可以从测量出的与各像素相关的光路差来对测量物的形状进行测量，上述装置还可以包含显示部，该显示部用于显示对测量物进行测量而得到的形状。

如此，能从对测量物以及因白光的干涉产生的干涉条纹进行拍摄而得到的1个图像中确认该测量物的形状。