[发明专利]功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法

权利要求书

1.功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的标定方法，在功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构上实现；

所述功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构在进气系统（1）上设置有泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）底部还设置有调节阀（1-4）；所述调节阀（1-4）为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯（1-4-1）、中层阶梯（1-4-2）和上层阶梯（1-4-3），所述下层阶梯（1-4-1）和中层阶梯（1-4-2）之间设置有密封圈（1-4-4），下层阶梯（1-4-1）的截面直径大于泄压孔（1-3）截面直径，中层阶梯（1-4-2）的截面直径与泄压孔（1-3）截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯（1-4-3）套有螺纹；所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括接触端（1-5-1），连接端（1-5-2）和螺纹端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔（1-3）的内壁，所述连接端（1-5-2）为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端（1-5-2）均连接在接触端（1-5-1）内壁与螺纹端（1-5-3）之间，所述螺纹端（1-5-3）外壁套有螺纹，且与上层阶梯（1-4-3）的螺纹参数相同，螺纹端（1-5-3）底部设置有一字或十字凹槽，弹簧（1-6）分别连接在上层阶梯（1-4-3）外壁与螺纹端（1-5-3）外壁之间；

其特征在于，

所述功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的标定方法包括以下步骤：

步骤a、设定高温高压气体压强阈值；

步骤b、将调整件（1-5）的接触端（1-5-1）旋拧入泄压孔（1-3）中；

步骤c、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3），将调节阀（1-4）的下端连接拉力测量装置；

步骤d、拉动拉力测量装置，弹簧伸长，至拉力测量装置显示的拉力数值除以中层阶梯（1-4-2）截面直径等于压强阈值的位置；

步骤e、测量进气系统（1）底部距离中层阶梯（1-4-2）的距离；

步骤f、拆卸拉力测量装置、调节阀（1-4）和弹簧（1-6）；

步骤g、旋拧调整件（1-5），使调整件（1-5）沿泄压孔（1-3）向上运动步骤e所述的距离；

步骤h、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3）。