[发明专利]通过多重对正处理一个或多个载体本体和电子器件在审
申请号: | 202010618458.9 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN112185823A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | T·迈尔;T·贝伦斯;M·格鲁贝尔;T·沙夫;P·施特罗贝尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/48;H01L23/544;H01L21/78 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 周家新 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 通过 多重 处理 一个 载体 本体 电子器件 | ||
1.一种将电子器件(100)安装在一个或多个载体本体(102)上的方法,其中,所述方法包括:
·提供具有至少一个第一对正标记(106)的支撑体(104);
·通过所述至少一个第一对正标记(106)与所述一个或多个载体本体(102)分别所具有的至少一个第二对正标记(108)之间的对正,将所述一个或多个载体本体(102)安装在支撑体(104)上;
·随后,通过使用所述至少一个第二对正标记(108)进行对正,将多个电子器件(100)安装在所述一个或多个载体本体(102)中的相应一个上;和
·将所述一个或多个载体本体(102)和安装在其上的电子器件(100)分离成单独的封装体(124),每个封装体至少包括所述一个或多个载体本体(102)中的一个的一部分和电子器件(100)中的至少一个。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述方法包括:为所述多个电子器件(100)中的每一个提供至少一个第三对正标记(110),其中,将所述多个电子器件(100)安装在所述一个或多个载体本体(102)中的相应的一个上的操作包括所述至少一个第二对正标记(108)与所述第三对正标记(110)之间的对正。
3.根据权利要求2所述的方法,其中,所述方法包括:在不考虑所述至少一个第一对正标记(106)的情况下在所述至少一个第二对正标记(108)与所述第三对正标记(110)之间进行对正。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中,所述方法包括:在将所述一个或多个载体本体(102)安装在所述支撑体(104)上之前,检测所述至少一个第一对正标记(106)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其中,所述方法包括:在将所述一个或多个载体本体(102)安装在所述支撑体(104)上之前,检测所述至少一个第二对正标记(108)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其中,所述方法包括:将每个均具有至少一个第四对正标记(114)的一个或多个连接体(112)安装在所述一个或多个载体本体(102)上,用于通过相应的连接体(112)将电子器件(100)与相应的载体本体(102)电连接。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,所述一个或多个连接体(112)是一个或多个夹式框架。
8.根据权利要求6或7所述的方法,其中,所述方法包括:通过所述至少一个第二对正标记(108)与所述至少一个第四对正标记(114)之间的对正来将所述一个或多个连接体(112)安装在所述一个或多个载体本体(102)上。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法,其中,所述方法包括:
·通过考虑所述一个或多个载体本体(102)在支撑体(104)上的安装位置和取向进行对正,将所述多个电子器件(100)安装在具有至少一个第五对正标记(172)的中间载体本体(170)上;和
·随后,通过使用所述至少一个第五对正标记(172)进行对正,将电子器件(100)从中间载体本体(170)转移到所述一个或多个载体本体(102)上。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述方法包括:从分切的晶片(180)拾取多个电子器件(100),并将拾取的电子器件(100)转移到所述中间载体本体(170)上。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法,其中,所述方法包括:通过由蚀刻、印刷、激光开槽、钻孔、镂铣和冲压组成的组中的至少一种形成对正标记(106、108、110、114、172)的至少一部分。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法,其中,所述方法包括:通过由钎焊、烧结、熔焊和胶合组成的组中的至少一种将电子器件(100)安装在所述一个或多个载体本体(102)上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司,未经英飞凌科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010618458.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:减少头部损失的气体扩散装置
- 下一篇:用于质检的自动化分割方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造