[发明专利]一种钨铜合金材料的真空化学去铜方法及装置

权利要求书

1.一种钨铜合金材料的真空化学去铜装置，其特征在于，包括化学去铜系统和中和去氧化系统，以及为两个系统共用的1台机械泵；

所述化学去铜系统包括第一～四容器，其中第一容器内盛放化学去铜溶液，用于钨铜合金材料基体的化学去铜；第二、三容器内盛放纯净水，用于吸收从第一容器中挥发出的硝酸气体；第四容器内盛放硅胶干燥剂，用于吸收从第三容器中挥发出的水蒸气；

所述中和去氧化系统包括第五～八容器，其中第五容器内盛放中和溶液，用于钨铜合金材料基体的中和去氧化；第六、七容器内盛放纯净水，用于吸收从第五容器中挥发出的氢氧化铵气体；第八容器内盛放硅胶干燥剂，用于吸收从第七容器中挥发出的水蒸气；

所述机械泵分别与第四、八容器连接，用于抽气，为两个系统提供真空环境。

2.根据权利要求1所述的钨铜合金材料的真空化学去铜装置，其特征在于，所述化学去铜溶液包括硝酸、六次甲基四胺和苯骈三氮唑，三组份的浓度分别为300-350mL/L、10-15g/L和0.3～0.6g/L。

3.根据权利要求1所述的钨铜合金材料的真空化学去铜装置，其特征在于，所述中和溶液包括25％氨水，其浓度为500mL/L。

4.根据权利要求1所述的钨铜合金材料的真空化学去铜装置，其特征在于，所述第一容器上设置第一放气阀，用于将第一容器的压力与外界压力调节一致；所述第一容器与第二容器、第二容器与第三容器，以及第三容器与第四容器之间，分别设置第一止回阀、第二止回阀和第三止回阀，用于防止相邻模块间的物质倒灌；所述第四容器与机械泵之间设置第一抽气阀，用于调节机械泵对化学去铜系统的抽气速率。

5.根据权利要求1所述的钨铜合金材料的真空化学去铜装置，其特征在于，所述第五容器上设置第二放气阀，用于将第五容器的压力与外界压力调节一致；所述第五容器与第六容器、第六容器与第七容器，以及第七容器与第八容器之间，分别设置第四止回阀、第五止回阀和第六止回阀，用于防止相邻模块间的物质倒灌；所述第八容器与机械泵之间设置第二抽气阀，用于调节机械泵对去氧化系统的抽气速率。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的钨铜合金材料的真空化学去铜装置，其特征在于，所述第一容器与第二容器之间设置第一真空表，用于监测化学去铜系统的真空度；所述第五容器与第六容器之间设置第二真空表，用于监测去氧化系统的真空度。

7.基于权利要求1-6任一项所述装置的钨铜合金材料的真空化学去铜方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、将需要去铜的钨铜合金材料基体在丙酮中浸泡20分钟以上，之后烘干；

步骤2，将钨铜合金材料基体放入化学去铜溶液所在的第一容器中，开启机械泵，调节真空度至10～100Pa，整个化学去铜过程持续20-40h，每6h更换一次化学去铜溶液，直至溶液不发蓝或发黄；

步骤3，将钨铜合金材料基体从第一容器中取出，用水冲洗干净；

步骤4，将钨铜合金材料基体放入中和溶液所在的第五容器中，开启机械泵，调节真空度至10～100Pa，整个中和去氧化过程持续6-7h，中间不更换中和溶液；

步骤5，将中和去氧化后的钨铜合金材料基体用流动水超声，用丙酮脱水，烘干机烘干。