[发明专利]一种体声波器件及滤波装置

说明书

本申请公开了一种体声波器件，包括由下至上依次叠加的衬底层、第一电极层、压电层、第二电极层，所述衬底层的上表面设置有声反射层；所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域，所述有效区域与第一电极层引出端对应的层边界的顶角、与第二电极层引出端对应的层边界的顶角均为弧状顶角。本申请中体声波器件的有效区域对应第一电极层引出端、第二电极层引出端的层边界的顶角均为弧状顶角，可以避免出现图形失真，降低了体声波器件的制造难度，同时减小体声波器件的应力，进而提高体声波器件的机械强度和抗静电能力。此外，本申请还提供一种具有上述优点的滤波装置。

技术领域

本申请涉及滤波装置技术领域，特别是涉及一种体声波器件及滤波装置。

背景技术

体声波(Bulk Acoustic Wave，BAW)器件是一种常用的滤波器件，因其工作频率与其堆叠的薄膜厚度成反比，可以在较高的频率下表现出更好的性能，具有更小的尺寸，在现代通信领域的应用越来越广泛。

现有的体声波器件具有任意两边不平行的不规则多边形结构，解决了体声波器件中横波带来的性能衰减。但不规则多边形顶角的存在导致多边形的面积周长比较低，且尖锐的顶角在加工过程中容易变形，出现图形失真，另一方面，尖锐的顶角处会有应力集中，从而导致器件的机械强度和抗静电能力变差。

因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

发明内容

本申请的目的是提供一种体声波器件及滤波装置，以提升器件的机械强度和抗静电能力，避免出现图形失真。

为解决上述技术问题，本申请提供一种体声波器件，包括：

由下至上依次叠加的衬底层、第一电极层、压电层、第二电极层，所述衬底层的上表面设置有声反射层；

所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域，所述有效区域与第一电极层引出端对应的层边界的顶角、与第二电极层引出端对应的层边界的顶角均为弧状顶角。

可选的，所述弧状顶角的曲率半径大于等于5微米。

可选的，还包括：

分别位于所述第一电极层上表面、所述第二电极层上表面的焊盘；

相应的，所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域包括：

所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层未叠加所述焊盘的重叠区域为体声波器件的所述有效区域。

可选的，所述声反射层为空腔或者布拉格发射层。

可选的，所述压电层为铌酸锂压电层、钽酸锂压电层、氮化铝压电层、掺有稀土元素的氮化铝压电层、氧化锌压电层、锆钛酸铅压电层中的任一种。

可选的，所述第一电极层为钼电极层、钨电极层、铱电极层、钌电极层、碳纳米管电极层中的任一种。

可选的，所述第二电极层为铬电极层、铝电极层、铜电极层、硅电极层、石墨烯电极层中的任一种。

本申请还提供一种滤波装置，所述滤波装置包括至少一个上述任一种所述的体声波器件。

本申请所提供的体声波器件，包括由下至上依次叠加的衬底层、第一电极层、压电层、第二电极层，所述衬底层的上表面设置有声反射层；所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域，所述有效区域与第一电极层引出端对应的层边界的顶角、与第二电极层引出端对应的层边界的顶角均为弧状顶角。