[发明专利]一种体声波器件及滤波装置

权利要求书

1.一种体声波器件，其特征在于，包括：

由下至上依次叠加的衬底层、第一电极层、压电层、第二电极层，所述衬底层的上表面设置有声反射层；

所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域，所述有效区域与第一电极层引出端对应的层边界的顶角、与第二电极层引出端对应的层边界的顶角均为弧状顶角。

2.如权利要求1所述的体声波器件，其特征在于，所述弧状顶角的曲率半径大于等于5微米。

3.如权利要求1所述的体声波器件，其特征在于，还包括：

分别位于所述第一电极层上表面、所述第二电极层上表面的焊盘；

相应的，所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层的重叠区域为体声波器件的有效区域包括：

所述声反射层、所述第一电极层、所述压电层、所述第二电极层未叠加所述焊盘的重叠区域为体声波器件的所述有效区域。

4.如权利要求1至3任一项所述的体声波器件，其特征在于，所述声反射层为空腔或者布拉格发射层。

5.如权利要求4所述的体声波器件，其特征在于，所述压电层为铌酸锂压电层、钽酸锂压电层、氮化铝压电层、掺有稀土元素的氮化铝压电层、氧化锌压电层、锆钛酸铅压电层中的任一种。

6.如权利要求5所述的体声波器件，其特征在于，所述第一电极层为钼电极层、钨电极层、铱电极层、钌电极层、碳纳米管电极层中的任一种。

7.如权利要求6所述的体声波器件，其特征在于，所述第二电极层为铬电极层、铝电极层、铜电极层、硅电极层、石墨烯电极层中的任一种。

8.一种滤波装置，其特征在于，所述滤波装置包括至少一个如权利要求1至7任一项所述的体声波器件。