[发明专利]薄型喷墨打印头及其制作方法、设备

权利要求书

1.一种薄型喷墨打印头的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

形成塑模层，所述塑模层具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有喷孔，所述第二表面上设有墨水腔室，所述喷孔和所述墨水腔室相互连通；

在所述第一表面上依序设置减粘胶层和透明支撑板，使所述塑模层贴附在所述透明支撑板上；

夹持所述透明支撑板后，在所述第二表面上涂覆胶水，并将所述塑模层粘贴在基底的设有驱动器件的一侧上；

减化所述减粘胶层的粘度，并剥离所述减粘胶层和所述透明支撑板。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成所述塑模层的方法包括：

提供模具，所述模具包括平整部和形成在所述平整部上的凸起部；

在所述平整部和所述凸起部上涂覆光刻胶并进行平坦化和固化，以形成光刻胶层；

消除位于所述凸起部上的部分所述光刻胶层，以形成所述喷孔；

从所述模具中分离所述光刻胶层，以形成具有与所述喷孔连通的所述墨水腔室的塑模层。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，提供所述模具的方法包括：

在硅晶圆上进行刻蚀，以形成具有凹槽的原始模具；

在所述原始模具上浇注固化材料并对所述固化材料依序进行平坦化和固化；

从所述原始模具中分离所述固化材料，以形成所述模具。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述第二表面上涂覆所述胶水的方法包括：

在衬底上涂覆胶水，以形成胶水层；

夹持所述透明支撑板，使所述第二表面朝向所述胶水层；

将所述第二表面按压在所述胶水层上后进行分离。

5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，形成所述原始模具的方法包括：

采用光刻工艺在所述硅晶圆上形成与所述墨水腔室相对应的图案；

根据所述图案，采用ICP工艺或者RIE工艺对所述硅晶圆进行刻蚀。

6.根据权利要求1至5任一所述的制作方法，其特征在于，所述减粘胶层为热减粘胶或者光减粘胶。

7.根据权利要求1至5任一所述的制作方法，其特征在于，所述减粘胶层为双面胶结构，所述减粘胶层的朝向所述第一表面的一侧为减粘胶面，所述所述减粘胶层的背向所述第一表面的一侧为粘胶面。

8.一种薄型喷墨打印头，其特征在于，所述薄型喷墨打印头采用如权利要求1至7任一所述的制作方法来制作。

9.一种用于制作薄型喷墨打印头的设备，其特征在于，包括：处理模块、注塑模块、加固模块、组装模块和剥离模块；

其中，所述处理模块，被构造为控制注塑模块、加固模块、组装模块和剥离模块；

所述注塑模块，被构造为制作塑模层，所述塑模层具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有喷孔，所述第二表面上设有墨水腔室，所述喷孔和所述墨水腔室相互连通；

所述加固模块，被构造为在所述第一表面上依序设置减粘胶层和透明支撑板，使所述塑模层贴附在所述透明支撑板上；

所述组装模块，被构造为夹持所述透明支撑板后，在所述第二表面上涂覆胶水，并将所述塑模层粘贴在基底的设有驱动器件的一侧上；

所述剥离模块，被构造为减化所述减粘胶层的粘度，并剥离所述减粘胶层和所述透明支撑板。

10.一种计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，使如权利要求9所述的用于制作薄型喷墨打印头的设备实现如权利要求1至7任一所述的制作方法。