[发明专利]一种半球状微透镜及其制备方法有效
申请号: | 202010589616.2 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN111694077B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 刘贤超;王军;苟君;周泓希;韩琦 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半球 透镜 及其 制备 方法 | ||
1.一种半球状微透镜,包括至少一个透镜镜体(2),其特征在于:所述透镜镜体(2)为:选定标准微球透镜(2′)一个经过球心的面,在所述经过球心的面的两侧分别平行切割掉部分球面;
所述半球状微透镜还包括第二材料膜层(4),所述透镜镜体(2)浸泡在第二材料膜层(4)中;
还包括第三基板(8)和第二粘性膜层(7),所述第二粘性膜层(7)的两侧分别与所述第三基板(8)和第二材料膜层(4)连接。
2.根据权利要求1所述的一种半球状微透镜,其特征在于:所述第三基板(8)、第二粘性膜层(7)和第二材料膜层(4)均为透明且透光性好的材质。
3.根据权利要求1所述的一种半球状微透镜,其特征在于:所述透镜镜体(2)包括单个或多个透镜,所述多个透镜单层并列排布。
4.一种半球状微透镜制备方法,其特征在于:所述方法包括透镜镜体切割步骤:选定标准微球透镜(2′)一个经过球心的面,在所述经过球心的面的两侧分别平行切割掉部分球面;将所述透镜镜体浸泡在第二材料膜层(4)中,还包括设置第三基板(8)和第二粘性膜层(7),所述第二粘性膜层(7)的两侧分别与所述第三基板(8)和第二材料膜层(4)连接。
5.根据权利要求4所述的一种半球状微透镜制备方法,其特征在于:
所述切割包括第一次切割和第二次切割,第一次切割包括:移除覆盖在所述微球透镜(2′)顶端的第一材料膜层(3′)和第二材料膜层(4′),然后去除所述微球透镜(2′)高于剩余第二材料膜层 (4″)的平面部分,得到第一样本;
第二次切割包括:去除所述微球透镜(2′)的另一侧高出剩余第二材料膜层(4″)的部分,并使微球透镜(2′)完全浸泡在剩余第二材料膜层(4″)中,得到第三样本;
所述切割采用刻蚀的方式。
6.根据权利要求5所述的一种半球状微透镜制备方法,其特征在于:方法还包括第一次切割固定和第二次切割固定,所述第一次切割固定包括:通过第一粘性膜层(5)将第二基板(6)与所述微球透镜(2′)被第一次切割后的一侧粘接在一起,然后溶解第一样本中的剩余第一材料膜层(3″)并剥离第一基板(1),得到第二样本;
所述第二次切割固定包括:通过第二粘性膜层(7)将第三基板(8)与第三样本中剩余第二材料膜层(4″)粘接在一起;
所述第二次切割固定后包括组装步骤,所述组装包括:移除第四样本中的第二基板(6)和第一粘性膜层(5)。
7.根据权利要求6所述的一种半球状微透镜制备方法,其特征在于:
在所述第一次切割之前包括在第一基板(1)上自组装平铺标准微球透镜(2′),并在所得第一基板(1)上靠近微球透镜(2′)的一侧依次生长第一材料膜层(3)和第二材料膜层(4)的步骤;
所述使微球透镜(2′)完全浸泡在剩余第二材料膜层(4″)中包括:通过物理气相沉积法在第二样本中微球透镜(2′)另一被去除处理后的一侧继续垂直生长一定厚度的第二材料膜层(4)。
8.根据权利要求6所述的一种半球状微透镜制备方法,其特征在于:
所述溶解第一样本中的剩余第一材料膜层(3″)并剥离第一基板(1)包括:将第一样本浸泡在仅能溶解剩余第一材料膜层(3″)的溶液中,待剩余第一材料膜层(3″)全部溶解后,剥离第一基板(1)。
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