[发明专利]一种铁氧体材料的超快激光加工装置及加工方法

权利要求书

1.一种铁氧体材料的超快激光加工装置，其特征在于，包括：激光器、扩束镜、反射镜、扫描振镜、远心聚焦场镜、真空吸附治具及视觉单元，所述铁氧体材料吸附在所述真空吸附治具上，所述视觉单元可通过所述铁氧体材料上的标记点来确定切割位置，其中：

所述激光器发射的激光光束经所述扩束镜准直后进入所述反射镜，所述反射镜将入射的激光光束传输至所述扫描振镜，经所述扫描振镜扫描后的激光光束经所述远心聚焦场镜聚集在所述铁氧体材料上，并根据所述视觉单元确定的切割位置，沿预定的切割轨迹切割得到所需要的产品。

2.如权利要求1所述的铁氧体材料的超快激光加工装置，其特征在于，所述激光器为超快激光，其波段在355-532nm之间，功率为15W-30W，脉宽为15ps-200fs。

3.如权利要求1所述的铁氧体材料的超快激光加工装置，其特征在于，所述反射镜为两块45°反射镜。

4.如权利要求1所述的铁氧体材料的超快激光加工装置，其特征在于，所述扫描振镜为XY扫描振镜。

5.如权利要求1所述的铁氧体材料的超快激光加工装置，其特征在于，所述远心聚焦场镜的焦距F＝60～160mm。

6.如权利要求1所述的铁氧体材料的超快激光加工装置，其特征在于，所述视觉单元为相机。

7.一种如权利要求1所述的铁氧体材料的超快激光加工装置的加工方法，其特征在于，包括下述步骤：

按所述铁氧体材料的超快激光加工装置搭建光路；

打开真空吸附，将铁氧体材料吸附在真空吸附治具上；

根据所述视觉单元根据所述铁氧体材料上的定位点来确定切割位置；

开启光路且使得激光光束根据所述视觉单元确定的位置，沿预定的切割轨迹切割得到所需要的产品。