[发明专利]封装结构及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010579756.1 申请日: 2020-06-23
公开(公告)号: CN113838826A 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 朱彦瑞;周信宏;林俊宏 申请(专利权)人: 华邦电子股份有限公司
主分类号: H01L23/495 分类号: H01L23/495;H01L23/488;H01L23/49;H01L21/52;H01L21/60
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 张娜;臧建明
地址: 中国台湾台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 封装 结构 及其 制造 方法
【说明书】:

发明提供一种封装结构及其制造方法。封装结构包括引线框架结构、管芯、黏合剂层与至少一条三维打印导线。引线框架结构包括载板与引线框架。载板具有凹槽。引线框架设置在载板上。管芯设置在凹槽中。管芯包括至少一个接垫。黏合剂层设置在管芯的底面与载板之间以及管芯的侧壁与载板之间。三维打印导线设置在引线框架、黏合剂层与接垫上,且电性连接于引线框架与接垫之间。上述封装结构可使得封装尺寸更微小化。

技术领域

本发明涉及一种半导体元件及其制造方法,尤其涉及一种封装(package)结构及其制造方法。

背景技术

传统半导体封装的内部接合方式可分为引线接合(wire bonding)、带式自动键合(tape automated bonding,TAB)与倒装芯片结合(flip chip bonding),其中引线接合由于工艺成熟、成本低、布线弹性高,是目前应用最广的接合技术。然而,引线接合的缺点是有输入/输出(Input/Output,简称I/O)引脚数的限制。此外,在先进工艺封装希望封装尺寸微小化的情况下,因为使用引线接合有弧高及距离的限制,因此使得封装尺寸无法往微小化来前进。

发明内容

本发明提供一种封装结构及其制造方法,其可使得封装尺寸更微小化。

本发明提出一种封装结构,包括引线框架(lead frame)结构、管芯(die)、黏合剂层与至少一条三维打印(3D printing)导线。引线框架结构包括载板与引线框架。载板具有凹槽。引线框架设置在载板上。管芯设置在凹槽中。管芯包括至少一个接垫(pad)。黏合剂层设置在管芯的底面与载板之间以及管芯的侧壁与载板之间。三维打印导线设置在引线框架、黏合剂层与接垫上,且电性连接于引线框架与接垫之间。

本发明提出一种封装结构的制造方法,包括以下步骤。提供引线框架结构。引线框架结构包括载板与引线框架。载板具有凹槽。引线框架设置在载板上。将黏合剂填入凹槽中。将管芯放置在凹槽中,使得黏合剂由管芯的底面与载板之间溢出至管芯的侧壁与载板之间,而形成黏合剂层。管芯包括至少一个接垫。使用三维打印工艺在引线框架、黏合剂层与接垫上形成至少一条三维打印导线。三维打印导线电性连接于引线框架与接垫之间。

基于上述,在本发明所提出的封装结构及其制造方法中,将管芯设置在凹槽中,且使用三维打印导线将引线框架与接垫进行电性连接,因此不存在引线接合的弧高及距离的限制,进而可缩小管芯与引线框架的间距并降低封装结构的厚度,以使得封装尺寸微小化。此外,由于不存在引线接合的弧高及距离的限制,因此有利于增加I/O引脚数。另外,通过本发明所提出的封装结构及其制造方法,可省略重布线层(redistribution layer,RDL)工艺与引线接合工艺等工艺,因此可有效地简化工艺。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1A至图1E为本发明一实施例的封装结构的制造流程立体图;

图2A至图2E为沿着图1A至图1E中的I-I’剖面线的剖面图。

附图标号说明:

10:封装结构

100:引线框架结构

102:载板

104:引线框架

104a:引线

106:黏合剂

106a:黏合剂层

108:管芯

110:接垫

112:三维打印导线

114:包封体

200:喷头

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