[发明专利]一种塑封裝元器件开封方法及开封装置在审
申请号: | 202010579575.9 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111693852A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 张健健;郑明辉 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01N23/04 |
代理公司: | 上海得民颂知识产权代理有限公司 31379 | 代理人: | 张素华 |
地址: | 201799 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 塑封 元器件 开封 方法 装置 | ||
1.一种塑封裝元器件开封方法,用于塑封裝元器件的铜芯线失效分析,其特征在于,包括:
S1、使用X光设备检测待开封的塑封裝元器件,以确定目标芯线所在的路径位置;
S2、加热待开封的塑封裝元器件至预设温度;
S3、沿目标芯线所在的路径位置滴注开封腐蚀液,对目标芯线上方的塑封材料进行腐蚀;
S4、在目标芯线裸露后,采用边滴注开封腐蚀液、边用丙酮冲洗的方式,去除目标芯线周围的塑封体;
S5、在目标芯线周围的塑封体去除之后,将该塑封装元器件浸泡于丙酮溶液内,并置于超声波清洗机内清洗;
S6、对清洗完成的该塑封装元器件进行干燥。
2.根据权利要求1所述的塑封裝元器件开封方法,其特征在于,步骤S2中的所述预设温度为130~150摄氏度。
3.根据权利要求2所述的塑封裝元器件开封方法,其特征在于,步骤S3中的所述开封腐蚀液由浓硫酸与发烟硝酸按照体积比1:1进行混合而成。
4.根据权利要求3所述的塑封裝元器件开封方法,其特征在于,滴注开封腐蚀液至目标芯线所在的路径位置前,将所述开封腐蚀液预先加热至100摄氏度。
5.根据权利要求4所述的塑封裝元器件开封方法,其特征在于,对清洗完成的该塑封装元器件进行干燥,采用以下方式:
使用50~70摄氏度的热风对清洗完成的该塑封装元器吹干。
6.一种塑封裝元器件开封装置,其特征在于,包括:安装盘、安装支架、X光发生器、X光检测器、旋转电机、固定基台、滴注机构、冲洗机构和控制器;
所述安装支架安装在所述安装台上,所述X光发生器设置在所述安装支架上;
所述旋转电机固定在所述安装盘内,所述固定基台固定在所述旋转电机的旋转轴上;
所述固定基台上设有第一安装凹槽和第二安装凹槽,所述第一安装凹槽位于所述第二安装凹槽的上方,且所述第一安装凹槽和所述第二安装凹槽与所述X光发生器的位置相对应;
所述X光检测器安设在所述第二安装凹槽内,所述第一安装凹槽用于安装待开封的产品;
所述滴注机构包括:滴注枪、滴注管道、气缸、气泵、伺服电机和第一电磁阀,所述气缸位于所述安装支架内,所述气泵与所述气缸相导通;所述伺服电机固定在所述气缸上,所述滴注枪安设在所述伺服电机的转动轴上,与所述滴注管道的一端导通,且位于所述第一安装槽的斜上方;所述第一电磁阀串联在所述滴注管道上,所述第一电磁阀、所述气泵、所述伺服电机分别与所述控制器电性连接;
所述冲洗机构包括:冲洗枪、冲洗管道和第二电磁阀,所述冲洗枪安设在所述安装支架上,与所述冲洗管道的一端相导通,且位于所述第一安装槽的斜上方;所述第二电磁阀串联在所述冲洗管道上,所述第二电磁阀与所述控制器电性连接;
所述控制器分别与所述X光检测器和所述X光发生器电性连接。
7.根据权利要求6所述的塑封裝元器件开封装置,其特征在于,所述固定基台上设有多个所述第一安装凹槽,且所述第一安装凹槽呈圆周阵列均匀排布。
8.根据权利要求6所述的塑封裝元器件开封装置,其特征在于,所述安装盘上还设有存储凹槽,所述存储凹槽位于所述固定基台的边缘下方。
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