[发明专利]光学特性检测装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010577822.1 申请日: 2020-06-22
公开(公告)号: CN113899531A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 邱伟庭;詹朱聪;柏桑迪;李嘉樟 申请(专利权)人: 扬明光学股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 光学 特性 检测 装置 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种光学特性检测装置,其特征在于,包含:

一隔热材料层,所述隔热材料层设有相对的一第一开口及一第二开口;

一第一透光板,设于所述第一开口;

一第二透光板,设于所述第二开口,其中所述隔热材料层、所述第一透光板及所述第二透光板界定一腔室;

一导热层,设于所述腔室内;

一致冷源,耦接所述导热层;以及

一影像传感器,设于所述腔室外且位于所述第二透光板的背向所述第一透光板的一侧。

2.一种光学特性检测装置,其特征在于,包含:

一图案光产生单元,用以形成一图案光;

一准直元件,准直所述图案光以形成一准直图案光;

一腔室,容置一待测光学件,其中所述待测光学件位于所述准直图案光的光路上;

一导热层,设于所述腔室内;

一致冷源,耦接所述导热层;以及

一影像传感器,设于所述腔室外且位于所述腔室的光路下游,其中所述准直图案光经由所述待测光学件成像于所述影像传感器。

3.如权利要求1或2所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述致冷源为具有一冷侧及一热侧的致冷芯片,所述冷侧耦接所述导热层,且所述热侧耦接一散热元件。

4.如权利要求3所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述导热层为铜片,且所述散热元件包含热管与散热鳍片的至少其中之一。

5.如权利要求2所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述光学特性检测装置更包含界定所述腔室的一隔热材料层、一第一透光板及一第二透光板。

6.如权利要求1或5所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述的光学特性检测装置更包含:

一第一导流结构,设于一除雾单元与所述第二透光板之间。

7.如权利要求6所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述的光学特性检测装置更包含:

一第二导流结构,设于所述除雾单元与所述第一透光板之间。

8.如权利要求6所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述除雾单元为一空气干燥机,且所述空气干燥机输送干燥气体至所述腔室与所述影像传感器之间的区域。

9.如权利要求1或5所述的光学特性检测装置,其特征在于,所述的光学特性检测装置更包含:

多个空气隔热腔,设于所述隔热材料层内。

10.一种光学特性检测装置制造方法,其特征在于,包含:

提供具有相对的一第一开口及一第二开口的一隔热材料层;

将一第一透光板设于所述第一开口且将一第二透光板设于所述第二开口,其中所述隔热材料层、所述第一透光板及所述第二透光板界定一腔室;

将一导热层设于所述腔室内;

将一致冷源耦接所述导热层;

于所述第二透光板的背向所述第一透光板的一侧设置一影像传感器;以及

提供一除雾单元以减少所述腔室与所述影像传感器间的水气。

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