[发明专利]一种中心键合点芯片的堆叠结构和方法在审
| 申请号: | 202010568539.2 | 申请日: | 2020-06-19 |
| 公开(公告)号: | CN111668195A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
| 发明(设计)人: | 李晗;张欲欣;冯春苗;张现顺;郭清军 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;H01L21/98;H01L27/108 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 朱海临 |
| 地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 中心 键合点 芯片 堆叠 结构 方法 | ||
1.一种中心键合点芯片的堆叠结构,其特征在于,包括从下到上依次粘结堆叠的基底(10)、下层芯片(7)、包丝绝缘胶涂覆层(4)、粘结绝缘胶涂覆层(5)和上层芯片(8);其中绝缘胶涂覆层(4)内包裹有所有的一层键合丝(1),一层键合丝(1)的一端粘结在下层芯片(7)上表面的第一中间位置(9),另一端粘结在基底(10)上;上层芯片(8)上表面的第二中间位置(11)和基底(10)之间键合有二层键合丝(3);
所述第一中间位置(9)和下层芯片(7)的长度相同,宽度小于等于下层芯片(7)宽度的一半,且第一中间位置(9)的中心线和下层芯片(7)的中心线重合;
所述第二中间位置(11)和上层芯片(8)的长度相同,宽度小于等于上层芯片(8)宽度的一半,且第二中间位置(11)的中心线和上层芯片(8)的中心线重合。
2.根据权利要求1所述的一种中心键合点芯片的堆叠结构,其特征在于,所述一层键合丝(1)和二层键合丝(3)的长度均为40mm。
3.根据权利要求1所述的一种中心键合点芯片的堆叠结构,其特征在于,包丝绝缘胶涂覆层(4)和粘结绝缘胶涂覆层(5)均为FF4450HF绝缘胶。
4.一种中心键合点芯片的堆叠方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,粘结下层芯片(7)和基底(10),将所有一层键合丝(1)的上端连接在下层芯片(7)的第一中间位置(9),将所有一层键合丝(1)的下端连接在基底(10)上,制备出第一过程模块;
步骤2,在下层芯片(7)上制备包丝绝缘胶涂覆层(4),包丝绝缘胶涂覆层(4)的将所有的一层键合丝(1)包裹在内,形成第二过程模块;
步骤3,在包丝绝缘胶涂覆层(4)上通过粘结绝缘胶涂覆层(5)粘结上层芯片(8);
步骤4,在上层芯片(8)上键合二层键合丝(3),二层键合丝(3)的上端连接在上层芯片(8)的第二中间位置(11),二层键合丝(3)的下端连接在基底(10)上;
整个堆叠结构制备结束。
5.根据权利要求4所述的一种中心键合点芯片的堆叠方法,其特征在于,步骤1中和步骤4的键合过程通过KS Iconn自动金丝键合机键合,通过用Westbond 70PE-T无损拉克仪分别对一层键合丝(1)和二层键合丝(3)整形。
6.根据权利要求4所述的一种中心键合点芯片的堆叠方法,其特征在于,步骤2的具体过程为:将第一过程模块放置在加热台上,加热加热台,将绝缘胶涂覆在下层芯片7的表面,涂覆的绝缘胶将所有的一层键合丝1包裹在其内部,然后进行烘烤,烘烤至绝缘胶完全固化,形成第二过程模块。
7.根据权利要求6所述的一种中心键合点芯片的堆叠方法,其特征在于,加热台的加热温度为80℃。
8.根据权利要求6所述的一种中心键合点芯片的堆叠方法,其特征在于,加热加热台后,将加热台移至显微镜下,在显微镜下进行绝缘胶的涂覆过程。
9.根据权利要求6所述的一种中心键合点芯片的堆叠方法,其特征在于,烘烤绝缘胶前,对包裹有一层键合丝(1)的绝缘胶进行X光检测。
10.根据权利要求6所述的一种中心键合点芯片的堆叠结构,其特征在于,烘烤温度为150℃。
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