[发明专利]具有有噪测量的对象的排名

权利要求书

1.一种方法，包括：

对于多个数据对象中的每个数据对象：

对该数据对象的多个实例执行测量，以针对该数据对象生成多个测量值；并且

为该数据对象生成所述测量值的分布；

基于为所述多个数据对象生成的测量值的分布中的每个分布来生成整合分布；并且

基于所述多个数据对象中的第一数据对象的测量值的分布和所述整合分布，为所述第一数据对象打分。

2.如权利要求1所述的方法，其中生成所述整合分布包括：

对于各自与不同的测量值范围相关联的多个箱格中的每个箱格，整合具有在该箱格的测量值范围内的测量值的数据对象的实例的计数，并且

将实例的整合计数与所述整合分布的相应箱格关联起来。

3.如权利要求2所述的方法，还包括：基于为所述数据对象生成的测量值来确定所述多个箱格的宽度。

4.如权利要求1所述的方法，其中为所述多个数据对象中的数据对象打分包括：

对于该数据对象的测量值的分布的多个箱格中的每个箱格，将以下二者的概率相乘：

该数据对象的随机实例具有在该箱格的测量值范围内的测量值，和

所述多个数据对象中的任何数据对象的随机实例如所述整合分布所指示地具有小于该箱格的测量值范围的值；并且

对乘法的结果求和。

5.如权利要求1所述的方法，还包括：

基于所述多个数据对象的测量值的相应分布和所述整合分布，为所述多个数据对象的每一者打分；并且

基于所述数据对象的得分来对所述数据对象排名。

6.如权利要求5所述的方法，还包括：基于所述多个数据对象的得分来识别行为类似的数据对象。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述多个数据对象是半导体芯片的图案。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述多个数据对象的每一者包括各自的锚定点和该锚定点周围的窗口。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述测量是在所述数据对象的制造实例的多个图像上执行的。

10.如权利要求7所述的方法，其中所述多个测量值是所述数据对象的多边形的关键维度。

11.一种系统，包括用于执行如权利要求1-10中的任一项所述的方法的装置。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述装置包括机器可读代码，该机器可读代码在被执行时使得机器执行如权利要求1-10中的任一项所述的方法的一个或多个步骤。

13.一种装置，包括：

存储器，该存储器用于存储多个图像，该多个图像包括多个数据对象的实例；以及

处理器，该处理器耦合到所述存储器，并且用于：

对于多个数据对象中的每个数据对象：

对该数据对象的多个实例执行测量，以针对该数据对象生成多个测量值；并且

为该数据对象生成所述测量值的分布；

基于为所述多个数据对象生成的测量值的分布中的每个分布来生成整合分布；并且

基于所述多个数据对象中的第一数据对象的测量值的分布和所述整合分布，为所述第一数据对象打分。

14.如权利要求13所述的装置，其中生成所述整合分布包括：

对于各自与不同的测量值范围相关联的多个箱格中的每个箱格，整合具有在该箱格的测量值范围内的测量值的数据对象的实例的计数，并且

将实例的整合计数与所述整合分布的相应箱格关联起来。

15.如权利要求14所述的装置，其中所述处理器还用于：基于为所述数据对象生成的测量值来确定所述多个箱格的宽度。