[发明专利]一种实现装备表面等离子体均布的电极布置结构

权利要求书

1.一种实现装备表面等离子体均布的电极布置结构，其特征在于，包括多个微孔和多个电极，所述微孔开设在装备表面，且呈柱形结构贯穿装备表面，所述电极设置在微孔内部和/或微孔之间,电极通电后，使每个微孔周围均有正、负极。

2.根据权利要求1所述的实现装备表面等离子体均布的电极布置结构，其特征在于，所述装备表面为导电材料。

3.根据权利要求2所述的实现装备表面定离子体均布的电极布置结构，其特征在于，所述电极为针状高压电极，针状高压电极设置在微孔内。

4.根据权利要求1所述的实现装备表面等离子体均布的电极布置结构，其特征在于，所述装备表面为绝缘材料。

5.根据权利要求4所述的实现装备表面等离子体均布的电极布置结构，其特征在于，所述电极包括：条状高压电极和条状低压电极，条状高压电极和条状低压电极设置在微孔之间。

6.根据权利要求4所述的实现装备表面等离子体均布的电极布置结构，其特征在于，所述电极包括针状高压电极和条状低压电极，针状高压电极设置在微孔内，条状低压电极设置在微孔之间。