[发明专利]一种晶粒分拣装置以及分拣方法在审

专利信息
申请号: 202010549792.3 申请日: 2020-06-16
公开(公告)号: CN111715562A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 王胜利 申请(专利权)人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
主分类号: B07C5/36 分类号: B07C5/36;B07C5/38;H01L21/67
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 任志龙
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 晶粒 分拣 装置 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种晶粒分拣装置,包括依次设置的顶出件、待分料架(300)、转运件(400),以及存料架(100),其特征在于:所述存料架(100)上设有用于存放晶粒的存料膜件(110),所述存料架(100)上沿垂直于所述存料膜件(110)的方向滑移连接有滑动件,所述滑动件上具有能够抵触在所述存料膜件(110)上的支撑区。

2.根据权利要求1所述的一种晶粒分拣装置,其特征在于:所述转运件(400)包括转动连接在待分料架(300)与存料架(100)之间的转运头(410)、与转运头(410)连接的转运电机(420)、设置在转运头(410)上且用于和待分料架(300)或存料膜件(110)对合的吸嘴(430)。

3.根据权利要求2所述的一种晶粒分拣装置,其特征在于:所述滑动件为滑移连接在存料架(100)上的支撑块(120),所述存料架(100)上设置有用于驱使支撑块(120)滑动的驱动件(130),所述支撑区形成于所述支撑块(120)与所述存料膜件(110)接触面上,所述存料膜件(110)与所述支撑块(120)固定连接。

4.一种晶粒分拣方法,基于权利要求1-3中任意一项所述的晶粒分拣装置,其特征在于:包括以下步骤:

S1:待分料架(300)运动,使得顶出件相对应于一待分拣的晶粒;

S2:顶料,顶出件运动,将一待分拣的晶粒顶出,使其运动并被转运件(400)拾取;

S3:送料,转运件(400)将相对应的一待分拣晶粒送至存料架(100)处;

S4:存料,支撑区止抵于存料膜件(110)背离转运件(400)的一侧,存料膜件(110)相对于转运件(400)运动,包括当前一待分拣晶粒正对应于存料膜件(110)上的待存区域,以及存料膜件(110)整体朝向晶粒运动,继而使得晶粒止抵并存放在存料膜件(110)上;

之后重复步骤S1-步骤S4。

5.根据权利要求4所述的一种晶粒分拣方法,其特征在于:所述步骤S4中,所述存料膜件(110)放置在一存料架(100)上,所述存料架(100)上具有用于抵触在所述存料膜件(110)背离所述转运件(400)一侧的支撑块(120),所述支撑块(120)与所述存料膜件(110)抵触面为所述支撑区。

6.根据权利要求5所述的一种晶粒分拣方法,其特征在于:所述步骤S4中,所述支撑区的面积不小于所述存料膜件(110)上的存放晶粒的区域。

7.根据权利要求5所述的一种晶粒分拣方法,其特征在于:所述步骤S4中,所述支撑块(120)与所述存料膜件(110)同步运动。

8.根据权利要求4所述的一种晶粒分拣方法,其特征在于:所述转运头(410)上设置有两个所述吸嘴(430),两个所述吸嘴(430)的朝向位于同一直线上,两个所述吸嘴(430)的朝向相背离,且所述待分料架(300)上的待分料平面平行于所述存料架(100)上的存料平面,所述步骤S4与下一个重复周期中的所述步骤S2同步进行。

9.根据权利要求4所述的一种晶粒分拣方法,其特征在于:所述待分料架(300)上设有第一影像摄取装置,用于摄取待分料架(300)上的晶粒的位置数据,通过位置数据对位于待分料架(300)上的晶粒进行编号,所述待分料架(300)根据晶粒编号进行运动,使得晶粒按照编号依次正对于所述转运件(400)。

10.根据权利要求9所述的一种晶粒分拣方法,其特征在于:所述存料架(100)上设有第二影像摄取装置,用于摄取存料架(100)上的晶粒的位置数据,通过位置数据确定待分拣晶粒相对应的待存区域,并使得存料膜件(110)进行运动,使得晶粒正对于待存区域。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,未经矽电半导体设备(深圳)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010549792.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top