[发明专利]一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构

说明书

本发明公开了一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的左侧设置有前后移动机构，所述刻蚀机本体的上方设置有左右移动导向机构，所述左右移动导向机构的内腔设置有左右移动机构一和左右移动机构二，所述刻蚀机本体的顶部固定连接有刻蚀基板。本发明通过前后移动机构的设置，使得监控设备能够跟随左右移动导向机构移动，从而使得监控设备与左右移动机构二之间的连接线不需要太长，从而就不易因连接线缠绕而出现事故，也能够减少对刻蚀机的损坏，延长刻蚀机的使用寿命，还能够控制左右移动机构一对刻蚀机上淤积的药水进行风力吹干，从而使得刻蚀基板的表面能够快速干燥，也方便后续的使用。

技术领域

本发明涉及蚀刻机技术领域，具体为一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构。

背景技术

蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工，在半导体和线路板制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，也可对各种金属如：铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌板、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状，并能精确镂空，也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割，如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。

蚀刻机上是安装有监控装置的，但是传统蚀刻机上的监控装置是固定在一个位置的，无法移动，而蚀刻机上的药剂喷淋装置则是可以移动的，为了使得喷淋装置能够顺利的移动，其控制装置与喷淋装置之间的连接线就需要很长，而连接线过长则容易缠绕在一起，容易出现事故，不仅会对蚀刻机造成损坏，还威胁着使用者的生命安全，而且除了监控装置无法移动，喷淋装置喷出的药水在刻蚀后，很可能会出现残留和淤积，不易晾干，从而对下一次的刻蚀效果造成影响，降低刻蚀效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，具备缩短连接先长度，降低事故出现频率以及快速烘干淤积药水的优点，解决了传统蚀刻机上的监控装置是固定在一个位置的，无法移动，而蚀刻机上的药剂喷淋装置则是可以移动的，为了使得喷淋装置能够顺利的移动，其控制装置与喷淋装置之间的连接线就需要很长，而连接线过长则容易缠绕在一起，容易出现事故，不仅会对蚀刻机造成损坏，还威胁着使用者的生命安全，而且除了监控装置无法移动，喷淋装置喷出的药水在刻蚀后，很可能会出现残留和淤积，不易晾干，从而对下一次的刻蚀效果造成影响，降低刻蚀效率的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的左侧设置有前后移动机构，所述刻蚀机本体的上方设置有左右移动导向机构，所述左右移动导向机构的内腔设置有左右移动机构一和左右移动机构二，所述刻蚀机本体的顶部固定连接有刻蚀基板，所述左右移动机构一底部的两侧分别固设有风力烘干设备二和风力烘干设备一，所述前后移动机构的左侧固设有监控设备。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述前后移动机构包括通过螺栓固定连接有在刻蚀机本体左侧的固定架，所述固定架的后侧焊接有托板，所述托板的顶部焊接有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有位于固定架内腔的螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有滑动块，所述滑动块的右侧固定安装有连接件，所述连接件的右侧固定安装有移动柱，所述监控设备固定在移动柱上，所述移动柱的底部活动安装有滚轮，所述滚轮的底部与固定架的内壁接触。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述连接件包括焊接在滑动块上的固定块一以及焊接在移动柱上的固定块二，所述固定块一和固定块二通过螺丝固定连接。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述左右移动导向机构包括固定安装在移动柱顶部的导向轨，所述导向轨的前侧和后侧分别开设有长方孔和长圆孔，所述导向轨内腔的顶部焊接有齿板。