[发明专利]一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置及其对应的抽排方法

权利要求书

1.一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其特征在于：其包括抛光设备底座，所述抛光设备底座上布置有定盘转盘，所述定盘转盘上放置有陶瓷盘晶片载体，所述抛光设备底座通过上凸的弧板连接上部安装架，所述上部安装架上设置有若干个下露的抛光转盘，所述抛光转盘用于陶瓷盘晶片载体上的晶片的抛光，所述弧板上开设有至少一个抽排风口，每个所述抽排风口通过抽风管外接抽风动力装置，封闭原有的垂直抽排口。

2.如权利要求1所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其特征在于：所述弧板上关于弧板的中垂面对称排布有两个抽排风口。

3.如权利要求1所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其特征在于：每个所述抽排风口的高度位置高于所述定盘转盘的上表面20mm～40mm。

4.如权利要求1所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其特征在于：每根所述抽风管的内端贯穿所述抽排风口后固定、并距离所述定盘转盘的对应表面的水平距离为25mm～35mm。

5.如权利要求4所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其特征在于：每根所述抽风管的内端距离所述定盘转盘的对应表面的水平距离为30mm。

6.如权利要求1所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其特征在于：所述抛光设备底座相对于所述定盘转盘的前端面设置有翻转挡板，所述可翻转挡板上设置有透明观察窗。

7.一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排方法，其特征在于：改变抽排系统抽排位置，将抽排风口位改装在定盘转盘的侧面区域，抽排风口水平距离定盘转盘的对应处最外侧位置保持25mm～35mm，将原有的垂直抽排口封闭。

8.如权利要求7所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排方法，其特征在于：两个抽排风口布置在弧板的两侧对应区域上，每根抽风管的内端贯穿所述抽排风口后固定、并距离所述定盘转盘的对应表面的水平距离为25mm～35mm。

9.如权利要求7所述的一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排方法，其特征在于：每个所述抽排风口的高度位置高于所述定盘转盘的上表面20mm～40mm。