[发明专利]实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带及其制造方法在审
| 申请号: | 202010517875.4 | 申请日: | 2020-06-09 | 
| 公开(公告)号: | CN111627824A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 | 
| 发明(设计)人: | 任志军;丁心怡;陈传蒙;刘玉宝 | 申请(专利权)人: | 山东新恒汇电子科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498 | 
| 代理公司: | 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) 37223 | 代理人: | 任建堂 | 
| 地址: | 255088 山东*** | 国省代码: | 山东;37 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 实现 csp 芯片 生产 倒贴 装载 及其 制造 方法 | ||
1.实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:包括如下步骤:
步骤a,在一面附着有第一铜箔层(13)的基材(4)上进行冲孔,形成贯穿基材(4)以及第一铜箔层(13)的过孔(6);
步骤b,在基材(4)的另一面上附着第二铜箔层(14);
步骤c,在第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)上分别形成接触块(3)和焊盘(5),并通过丝印填锡工艺在过孔(6)内填充导电介质(1)并将其固化,在导电介质(1)的固化过程中对导电介质(1)施加压力使导电介质(1)充满过孔(6)并与第一铜箔层(13)的内壁完全贴合,导电介质(1)固化后将第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)导通。
2.根据权利要求1所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:在所述的步骤c中,首先通过丝印填锡工艺在过孔(6)内填充导电介质(1)并将其固化,然后分别在第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)上形成接触块(3)和焊盘(5)。
3.根据权利要求1所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:在所述的步骤c中,首先分别在第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)上形成接触块(3)和焊盘(5),然后通过丝印填锡工艺在过孔(6)内填充导电介质(1)并将其固化。
4.根据权利要求2或3所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:在第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)上形成接触块(3)和焊盘(5)时,包括如下步骤:
步骤c-1,除去第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)表面的杂质,并对第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)表面进行粗化处理;
步骤c-2,通过热压的方式将干膜层(9)贴附在第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)的表面;
步骤c-3,利用紫外光照射的方式对干膜层(9)进行曝光,干膜层(9)被曝光的部位在第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)的表面分别形成曝光层(10);
步骤c-4,将未曝光的干膜层(9)去除,露出第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14);
步骤c-5,对第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)表面未覆盖有曝光层(10)的位置进行刻蚀,刻蚀到基材(4)的表面;
步骤c-6,将第一铜箔层(13)和第二铜箔层(14)表面的曝光层(10)去除,分形成接触块(3)和焊盘(5)。
5.根据权利要求1~3任一项所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:所述的丝印填锡工艺具体包括如下流程:通过预先准备设计方案图形的丝网印版,在丝网印版一端倒入充导电介质(1),使用刮板从丝网印版的一端匀速移动至另一端,刮板在匀速移动的过程中对充导电介质(1)施加压力,锡膏在移动中被刮板从图文部分的网孔中挤压到基材(4)上,最后对锡膏进行固化。
6.根据权利要求1所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:设置有正对导电介质(1)的气嘴,在所述导电介质(1)的固化过程中气嘴向导电介质(1)喷出气体,导电介质(1)受到气压后充满过孔(6)并与过孔(6)的内壁贴合。
7.根据权利要求1或6所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:所述的导电介质(1)为锡膏。
8.根据权利要求1所述的实现CSP芯片卷对卷生产的倒贴封装载带制造方法,其特征在于:在所述的步骤a中,所述的基材(4)采用环氧树脂纤维布。
9.利用权利要求1~8任一项的制造方法制成的载带,包括基材(4),在基材(4)的两面分别设置有接触块(3)和焊盘(5),接触块(3)和焊盘(5)在基材(4)的正反两面一一对应并导通,其特征在于:设置有贯穿所述基材(4)以及焊盘(5)的过孔(6),在过孔(6)内填充有导电介质(1),导电介质(1)充满过孔(6)并与焊盘(5)的内壁贴合。
10.根据权利要求9所述的载带,其特征在于:在所述的接触块(3)和焊盘(5)表面还设置有复合金属层(2)。
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