[发明专利]旋转干燥装置

权利要求书

1.一种旋转干燥装置，其特征在于，包括：

旋转的旋转台；

旋转台垫，设置于所述旋转台，具有保持工件的吸附面；以及

真空吸引机构，通过从所述吸附面吸引流体，将所述工件吸附于所述吸附面，

在所述吸附面形成有：吸引口，与所述真空吸引机构相连，供所述真空吸引机构所吸引的所述流体流动；以及供所述流体流动的吸引槽，向所述工件的方向开口并与所述吸引口相连。

2.根据权利要求1所述的旋转干燥装置，其特征在于，

在所述吸附面形成有直线状的吸引凹部，所述吸引凹部向所述工件的方向开口，且两端从所述旋转台垫的旋转中心附近向旋转半径方向延伸，

所述吸引口形成于所述吸引凹部，

所述吸引槽在与所述吸引凹部交叉的方向上延伸，并与所述吸引凹部相连。

3.根据权利要求2所述的旋转干燥装置，其特征在于，

所述吸引槽的一端从所述旋转台垫的周向边缘向外侧开口，

所述吸引凹部的两端部不从所述旋转台垫的周向边缘向外侧开口。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的旋转干燥装置，其特征在于，所述吸引口形成为比所述旋转台垫的旋转中心更靠旋转半径方向外侧。